Title:
Halbleitervorrichtung, Anzeigeeinrichtung und elektronisches Gerät
Document Type and Number:
Kind Code:
T5

Abstract:
Eine Halbleitervorrichtung gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Offenbarung ist mit Folgendem versehen: einem Substrat; mehreren Strukturen, die in einer Matrix angeordnet sind und die einen planaren Teil aufweisen; und mehreren piezoelektrischen Aktoren, die auf dem Substrat angeordnet sind und die jeweils die Strukturen entlang der Richtung senkrecht zu einer Oberfläche des Substrats bewegen.




Inventors:
MORI KUNIHIKO (JP)
KATO KATSUYUKI (JP)
IKEDA KOICHI (JP)
YANAGAWA SHUSAKU (JP)
Application Number:
DE112017005311T
Publication Date:
08/08/2019
Filing Date:
09/05/2017
Assignee:
Sony Semiconductor Solutions Corporation
International Classes:
G02B26/08; B81B3/00; G02B26/06; G02B27/02; G02B27/22; G03B35/18
Attorney, Agent or Firm:
MFG Patentanwälte Meyer-Wildhagen Meggle-Freund Gerhard PartG mbB (München, DE)