Title:
AKUSTISCHE VOLUMENWELLENKOMPONENTEN UND VERFAHREN ZUM PLASMASCHNEIDEN DERSELBEN
Document Type and Number:
Kind Code:
A1

Abstract:
Aspekte dieser Offenbarung beziehen sich auf Verfahren zur Herstellung akustischer Volumenwellenkomponenten. Derartige Verfahren umfassen ein Plasmaschneiden, um die akustischen Volumenwellenkomponenten zu vereinzeln. Eine Pufferschicht kann über einem Substrat akustischer Volumenwellenkomponenten gebildet werden, um Straßen freizulegen. Die akustischen Volumenwellenkomponenten können entlang der freigelegten Straßen plasmageschnitten werden, um dadurch die die akustischen Volumenwellenkomponenten zu vereinzeln. Dementsprechende akustische Volumenwellenkomponenten werden offenbart.




Inventors:
TAKANO ATSUSHI (JP)
FURUSAWA TAKESHI (JP)
FURUKAWA MITSUHIRO (JP)
Application Number:
DE102019216010A
Publication Date:
04/23/2020
Filing Date:
10/17/2019
Assignee:
SKYWORKS SOLUTIONS INC (Woburn, Mass., US)
International Classes:
H03H3/02; H01L41/338
Attorney, Agent or Firm:
isarpatent - Patent- und Rechtsanwälte Behnisch Barth Charles Hassa Peckmann & Partner mbB (München, 80801, DE)