Title:
MEHRSCHICHTIGES PIEZOELEKTRISCHES SUBSTRAT
Kind Code:
A1


Abstract:
Eine akustische Wellenvorrichtung beinhaltet ein geschichtetes Substrat mit einer piezoelektrischen Materialschicht, die mit einer zweiten Materialschicht verbunden ist, die ein Material mit einer höheren Wärmeleitfähigkeit als die piezoelektrische Materialschicht beinhaltet, interdigitale Wandlerelektroden, die auf einer Oberfläche der piezoelektrischen Materialschicht angeordnet sind, Kontaktpads, die auf der piezoelektrischen Materialschicht angeordnet sind und in elektrischem Kontakt mit den interdigitalen Wandlerelektroden stehen, externe Verbindungspads, die auf der zweiten Materialschicht angeordnet sind, und leitende Durchkontaktierungen, die durch das geschichtete Substrat hindurchgehen und einen elektrischen Kontakt zwischen den Kontaktpads und externen Verbindungsflächen herstellen.



Inventors:
MAKI KEIICHI (JP)
GOTO REI (JP)
FUKUHARA HIRONORI (JP)
Application Number:
DE102019212548A
Publication Date:
02/27/2020
Filing Date:
08/22/2019
Assignee:
SKYWORKS SOLUTIONS INC (Woburn, Mass., US)
International Classes:
Attorney, Agent or Firm:
isarpatent - Patent- und Rechtsanwälte Behnisch Barth Charles Hassa Peckmann & Partner mbB (München, 80801, DE)