Title:
Mikroelektromechanische Struktur mit einem, in einer Kaverne der mikroelektromechanischen Struktur angeordneten Funktionselement
Document Type and Number:
Kind Code:
A1

Abstract:
Es wird eine mikroelektromechanische Struktur (1) mit einem, in einer Kaverne (2) der mikroelektromechanischen Struktur (1) angeordneten Funktionselement (3) vorgeschlagen, wobei das Funktionselement (3) eine Aluminiumnitridschicht (4) aufweist, wobei die Kaverne (2) durch eine Kappenschicht (5) verschlossen ist, wobei die Kappenschicht (5) epitaktisches Silizium aufweist.Weiterhin wird ein Verfahren zur Herstellung einer mikromechanischen Struktur (1) vorgeschlagen.




Inventors:
MAJONI STEFAN (DE)
KUHNKE MARKUS (DE)
WEIR PENNY (DE)
Application Number:
DE102018217894A
Publication Date:
04/23/2020
Filing Date:
10/18/2018
Assignee:
BOSCH GMBH ROBERT (Stuttgart, 70469, DE)
International Classes:
B81B1/00; B81B3/00; B81B7/02; G01C19/5733; G01P15/08; H03H3/007