Title:
Elektroakustischer Resonator und Verfahren zu dessen Herstellung
Document Type and Number:
Kind Code:
A1

Abstract:
Die Erfindung betrifft einen elek¬tro¬akus¬tischen Resonator (1) mit einer Diamant¬schicht (2) mit einer ersten Seite (21) und einer gegenüberliegenden zweiten Seite (22) und einer piezo¬elek¬trischen Schicht (4), welche auf der zweiten Seite der Diamant¬schicht (22) angeordnet ist, wobei die Diamant¬schicht (2) mit der ersten Seite (21) auf ein zweites Substrat (6) aufgebracht ist. Weiterhin betrifft die Erfindung zwei Verfahren zur Herstellung eines elektroakustischen Resonators (1).




Inventors:
LEBEDEV VADIM (DE)
Application Number:
DE102018217892A
Publication Date:
04/23/2020
Filing Date:
10/18/2018
Assignee:
FRAUNHOFER GES FORSCHUNG (München, 80686, DE)
International Classes:
H03H3/08; H03H9/25
Foreign References:
200400314382004-02-19
56524361997-07-29
55765891996-11-19
Attorney, Agent or Firm:
Friese Goeden Patentanwälte PartGmbB (München, 80538, DE)