Title:
Akustischer Resonator und Filter mit Zickzack-Kante aufweisender Elektrode und Verfahren zur Herstellung von selbigem
Document Type and Number:
Kind Code:
B4

Abstract:
Verfahren, umfassend:ein Festlegen (201) einer Pulsfunktion, um eine Konturlinie eines Volumenwellen (BAW) -Resonators zu erzeugen;ein Bereitstellen (203) von Segmenten der Konturlinie basierend auf einer Amplitude, Periode und Konturlänge der Pulsfunktion; undein Verbinden (209) von Endpunkten der Segmente, um eine Konturlinie in Form einer geschlossenen Schleife zu bilden, die eine effektive Fläche des BAW-Resonators umgibt, wobei das Verfahren ferner umfasstein Bilden der geschlossenen Konturlinie mit einer zickzackförmigen Kontur entlang eines Umfangs einer Bodenelektrode, einer oberen Elektrode oder von beiden Elektroden; oderein Bilden der geschlossenen Konturlinie, die eine Kontur in Form einer nicht-parallelen Kurve mit sinusförmigen Funktionen entlang eines Umfangs der Bodenelektrode, der oberen Elektrode oder von beiden Elektroden aufweist.




Inventors:
QIAN YOU (SG)
CAMPANELLA PINEDA HUMBERTO (SG)
KUMAR RAKESH (SG)
Application Number:
DE102018208454A
Publication Date:
04/23/2020
Filing Date:
05/29/2018
Assignee:
GLOBALFOUNDRIES SG PTE LTD (Singapore, SG)
International Classes:
H03H9/15
Foreign References:
20170294893
EP1887688
Attorney, Agent or Firm:
Grünecker Patent- und Rechtsanwälte PartG mbB (München, 80802, DE)