Title:
BAW-Resonator mit einem hohen Q-Wert und Störmodenunterdrückung
Kind Code:
A1


Abstract:
Es ist ein BAW-Resonator vorgesehen, wobei die obere Elektrode eine äußere Klappe aufweist. Die Klappe erstreckt sich vom aktiven Resonatorgebiet fort und hat einen vorstehenden Abschnitt, der in einem Niveau oberhalb der piezoelektrischen Schicht verläuft, das höher ist als das Niveau der oberen Elektrode in jeglichen der sich innen befindenden Bereiche, die von der äußeren Klappe eingeschlossen sind. Das höhere Niveau ist durch ein eingefügtes stufenbildendes Material gebildet, das zwischen der piezoelektrischen Schicht und der oberen Elektrode in der äußeren Klappe angeordnet ist. Das stufenbildende Material umfasst eine strukturierte Schicht mit einer akustischen Impedanz, die in Bezug auf die Impedanz der oberen Elektrode und der piezoelektrischen Schicht gering ist.



Inventors:
POLLARD THOMAS (US)
Application Number:
DE102018117248A
Publication Date:
01/23/2020
Filing Date:
07/17/2018
Assignee:
RF360 EUROPE GMBH (München, 81671, DE)
International Classes:
Foreign References:
201403541152014-12-04
Attorney, Agent or Firm:
BARDEHLE PAGENBERG Partnerschaft mbB Patentanwälte, Rechtsanwälte (München, 81675, DE)