Title:
Beleuchtungsintensitäts-Korrekturvorrichtung zur Vorgabe einer Beleuchtungsintensität über ein Beleuchtungsfeld einer lithographischen Projektionsbelichtungsanlage
Kind Code:
A1


Abstract:
Eine Beleuchtungsintensitäts-Korrekturvorrichtung (24) dient zur Vorgabe einer Beleuchtungsintensität über ein Beleuchtungsfeld (18) einer lithografischen Projektionsbelichtungsanlage. Die Korrekturvorrichtung (24) hat eine Mehrzahl von nebeneinander angeordneten, stabförmigen Einzelblenden (27). Ein Verlagerungsantrieb dient zur Verlagerung mindestens einiger der Einzelblenden (27) zumindest längs ihrer jeweiligen Stabachse (28). Freie Enden der Einzelblenden (27) sind mit Hilfe des Verlagerungsantriebes (29) individuell zur Vorgabe einer längs einer Korrekturdimension (x) quer zu den Stabachsen (28) wirkenden Intensitätskorrektur einer Beleuchtung des Beleuchtungsfeldes (18) in eine vorgegebene Verlagerungsposition verlagerbar. Die Einzelblenden (27) gehören zu mindestens drei Abstands-Blendengruppen (I bis IV) und haben jeweils einen anderen Abstand (abis a) zu einer Blenden-Referenzebene (16). Letztere ist aufgespannt von einer Stab-Referenzachse (y) parallel zu den Stabachsen (28) und einer Korrektur-Referenzachse (x) längs der Korrekturdimension und gibt eine Anordnungsebene für das Beleuchtungsfeld (18) vor. Es resultiert eine Korrekturvorrichtung mit verbesserter Korrekturgenauigkeit.



Inventors:
GORKOM RAMON VAN (NL)
ENDRES MARTIN (DE)
Application Number:
DE102017220265A
Publication Date:
05/16/2019
Filing Date:
11/14/2017
Assignee:
Carl Zeiss SMT GmbH
International Classes:
Domestic Patent References:
DE102012205886A1N/A2013-10-17
DE102009045491A1N/A2010-11-25
DE102008001553A1N/A2009-11-12
DE102008013229A1N/A2009-06-18
Foreign References:
201003025252010-12-02
WO2009074211A12009-06-18
201500158652015-01-15
68595152005-02-22
EP12254812002-07-24
EP09524911999-10-27