Title:
Auskoppelelement für einen Lichtleiter zur Lichtführung an einem Lichtlaufzeitsensor
Kind Code:
A1


Abstract:

Anordnung mit einem Lichtlaufzeitsensor (22), der eine aktive Lichtlaufzeitpixel (24) zur Entfernungsmessung, eine Referenzpixelzeile (26) zu Referenzmessungen und ein Auskoppelelement (200) aufweist,
wobei das Auskoppelelement (200) einen Auskopplungsbereich (220) zur Beleuchtung der Referenzpixelzeile (26) aufweist,
mit einem Lichtleiter (260), der in den Auskopplungsbereich (220) derart geführt ist, dass das am Lichtleiter (260) austretende Licht in einem Einfallswinkel αy ≤ 30° bezogen auf eine Achse (y-Achse) quer zur Längserstreckung (x-Achse) der Referenzpixelzeile (26) auftrifft,
– wobei der Auskopplungsbereich (220) zudem derart ausgebildet ist, dass über die Längserstreckung (x-Achse) des Auskopplungsbereichs (220) das über den Lichtleiter (260) eingekoppelte Licht die Pixel der Referenzpixelzeile (26) mit unterschiedlichen Intensitäten erreicht.




Inventors:
Biehler, Björn, Dr. (88213, Ravensburg, DE)
Forster, Florian, Dr. (88069, Tettnang, DE)
Application Number:
DE102017212130A
Publication Date:
03/08/2018
Filing Date:
07/14/2017
Assignee:
ifm electronic gmbh, 45128 (DE)
International Classes:
Domestic Patent References:
DE19704496A1N/A1998-03-12



Claims:
1. Anordnung mit einem Lichtlaufzeitsensor (22), der eine aktive Lichtlaufzeitpixel (24) zur Entfernungsmessung, eine Referenzpixelzeile (26) zu Referenzmessungen und ein Auskoppelelement (200) aufweist,
wobei das Auskoppelelement (200) einen Auskopplungsbereich (220) zur Beleuchtung der Referenzpixelzeile (26) aufweist,
mit einem Lichtleiter (260), der in den Auskopplungsbereich (220) derart geführt ist, dass das am Lichtleiter (260) austretende Licht in einem Einfallswinkel αy ≤ 30° bezogen auf eine Achse (y-Achse) quer zur Längserstreckung (x-Achse) der Referenzpixelzeile (26) auftrifft,
– wobei der Auskopplungsbereich (220) zudem derart ausgebildet ist, dass über die Längserstreckung (x-Achse) des Auskopplungsbereichs (220) das über den Lichtleiter (260) eingekoppelte Licht die Pixel der Referenzpixelzeile (26) mit unterschiedlichen Intensitäten erreicht.

2. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Material des Auskoppelelements (200) eine Shore-Härte zwischen A40 und A70 aufweist.

3. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Material des Auskoppelelements (200) eine Shore-Härte zwischen A45 und A65 aufweist.

4. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem der Auskopplungsbereich (220) zur Erzeugung eines Intensitätsgradienten über die Längserstreckung als Vollmaterial oder als Hohlraum ausgebildet ist, wobei das Vollmaterial oder eine Innenseite des Hohlraums Partikel und/oder Strukturen aufweist, die Licht streuen und/oder absorbieren.

5. Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, bei dem das Auskoppelelement (200) in den Bereichen, in denen kein eingekoppeltes Licht geführt wird lichtundurchlässig ausgebildet ist.

6. Lichtlaufzeitkamera mit einer Anordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche.

Description:

Die Erfindung betrifft ein Auskopplungselement für einen Lichtleiter zur Lichtführung an einem Lichtlaufzeitsensor nach Gattung des unabhängigen Anspruchs.

Mit Lichtlaufzeitkamerasystem sollen hier insbesondere Systeme umfasst sein, die Entfernungen direkt aus der Lichtlaufzeit ermitteln oder die Lichtlaufzeit aus der Phasenverschiebung einer emittierten und empfangenen Strahlung gewinnen. Als Lichtlaufzeit bzw. 3D-Kameras sind insbesondere PMD-Kameras mit Photomischdetektoren (PMD) geeignet, wie sie u.a. in der DE 197 04 496 A1 beschrieben und beispielsweise von der Firma 'ifm electronic GmbH’ oder ‚pmdtechnologies ag‘ als O3D-Kamera bzw. als CamBoard zu beziehen sind. Die PMD-Kamera erlaubt insbesondere eine flexible Anordnung der Lichtquelle und des Detektors, die sowohl in einem Gehäuse als auch separat angeordnet werden können.

Aufgabe der Erfindung ist es, die Zuverlässigkeit der Distanzmessungen einer Lichtlaufzeitkamera bzw. eines Lichtlaufzeitsensors zu verbessern.

Die Aufgabe wird in vorteilhafter Weise durch das erfindungsgemäße Auskoppelelement nach Gattung des unabhängigen Anspruchs gelöst.

Vorteilhaft ist Anordnung mit einem Lichtlaufzeitsensor vorgesehen, wobei der Lichtlaufzeitsensor eine aktive Lichtlaufzeitpixel (24) zur Entfernungsmessung, eine Referenzpixelzeile (26) zu Referenzmessungen und ein Auskoppelelement (200) aufweist, wobei das Auskoppelelement (200) einen Auskopplungsbereich (220) zur Beleuchtung der Referenzpixelzeile (26) aufweist
und ein Lichtleiter (260) in den Auskopplungsbereich (220) derart geführt ist, dass das am Lichtleiter (260) austretende Licht in einem Einfallswinkel αy ≤ 30° (αy bezeichnet den auf die y-z-Ebene projizierten Einfallswinkel zur der z Achse hin gemessen) bezogen auf eine Achse (y-Achse) quer zur Längserstreckung (x-Achse) der Referenzpixelzeile (26) auftrifft,
– wobei der Auskopplungsbereich (220) zudem derart ausgebildet ist, dass über die Längserstreckung des Auskopplungsbereichs (220) das über den Lichtleiter eingekoppelte Licht die Pixel der Referenzpixelzeile mit unterschiedlichen Intensitäten erreicht.

Dieses Vorgehen hat den Vorteil, dass die Referenzpixelzeile zum einen mit eine Lichtgradienten beleuchtet werden kann und zum anderen ein Übersprechen des Referenzlichts in den aktiven Pixelbereich vermieden werden kann.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn das Material des Auskoppelelements eine Shore-Härte zwischen A40 und A70 und bevorzugt zwischen A45 und A65 aufweist. In diesem Bereich hat das Material zum einen eine ausreichende Stabilität, um beim vorgesehenen Anpressdruck formstabil zu bleiben und ist zum anderen weich genug, um sich an der Sensoroberfläche lichtdicht anzuschmiegen.

Bevorzugt ist der Auskopplungsbereich zur Erzeugung eines Intensitätsgradienten über die Längserstreckung als Vollmaterial oder als Hohlraum ausgebildet, wobei das Vollmaterial oder eine Innenseite des Hohlraums Partikel und/oder Strukturen aufweist, die Licht streuen und/oder absorbieren.

Durch dieses Vorgehen kann vorteilhaft der Intensitätsgradient im Auskopplungsbereich hinsichtlich der zu erwartenden Dynamik aufgrund beispielsweise unterschiedlicher Integrationszeiten angepasst werden.

Zudem ist das Auskoppelelement derart ausgebildet, dass kein Fremdlicht in das Auskoppelelement eindringen und kein eingekoppeltes Licht außerhalb der vorgesehen Austrittsbereiche austreten kann.

Bevorzugt ist das Auskoppelelement in den Bereichen, in denen kein eingekoppeltes Licht geführt wird, lichtundurchlässig ausgebildet.

Besonders vorteilhaft ist eine Anordnung mit dem vorgenannten Auskoppelelement und einem Lichtlaufzeitsensor vorgesehen, wobei die Anordnung insbesondere einen Rahmen zur Anordnung auf einem Bauelementeträger und Aufnahme des Auskoppelelements aufweist, und der Rahmen an der Unterseite Abstandshalter zur Bereitstellung eines definierten Abstands zwischen Bauelementeträger und Rahmen aufweist.

Vorteilhaft sind zudem an der Oberseite des Rahmens Abstandshalter zur Bereitstellung eines definierten Abstands zwischen dem Rahmen und einem Abdeckglases vorgesehen.

Die Verwendung der Abstandshalter hat den Vorteil, dass zwischen Rahmen und Bauelementeträger sowie Abdeckglas ein definierter Abstand eingestellt werden kann, so dass im Ergebnis auch die Freiraumhöhe zwischen Abdeckglas und Bauelementeträger bzw. Sensoroberfläche definiert einstellbar ist.

Zudem ist es nützlich, wenn am äußeren Umfang des Rahmens Ausnehmungen in Richtung Rahmenunterseite angeordnet sind. Diese Ausnehmungen können zum einen dazu dienen eine Sichtkontrolle auf eine applizierte Kleberaupe zwischen Rahmen und Bauelementeträger zu ermöglichen zum anderen können über diese Ausnehmungen beispielsweise UV härtende Kleber gezielt mit UV-Licht beleuchtet werden, sowie eine definierte Klebespaltdicke sicherzustellen.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher erläutert.

Es zeigen schematisch:

1 Lichtlaufzeitsensor mit einem Referenzpixel,

2 eine Aufsicht eines Lichtlaufzeitsensors mit einem Referenzpixelarray,

3 eine Übersicht der erfindungsgemäßen Anordnung,

4 eine erfindungsgemäße Anordnung mit einem als Hohlraum ausgeführten Auskoppelbereich

5 eine geometrische Ausrichtung der Lichtführung,

6 eine Ausrichtung gemäß 5 bezogen auf die Sensorbereiche,

7 eine Detailansicht mit einer erfindungsgemäßen Lichtleiterführung,

8 eine Detailansicht gemäß 7 mit einem Mikrolinsenarray.

Bei der nachfolgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen bezeichnen gleiche Bezugszeichen gleiche oder vergleichbare Komponenten.

1 zeigt einen Lichtlaufzeitsensor 22 mit mehreren Lichtlaufzeitpixeln 24 und Referenz-Lichtlaufzeitpixeln 26. Die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 werden über einen Lichtleiter 260 mit einem Referenzlicht beleuchtet. Das Referenzlicht kann beispielsweise von einer Referenzlichtquelle stammen oder direkt von der Beleuchtungslichtquelle 12 stammen. Vorzugsweise sind die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 im Aufbau und Funktion identisch mit den Lichtlaufzeitpixeln 24 des übrigen Sensors 22 und werden vorzugsweise identisch angesteuert. Im dargestellten Fall werden die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 räumlich von den übrigen Lichtlaufzeitpixeln 24 abgesetzt, indem zwei Lichtlaufzeitpixelreihen oder ggf. auch mehrere Reihen mit einer lichtundurchlässigen Maskierung 28 abgedeckt werden.

Eine solche Maskierung 28 hat mehrere Vorteile. Zum einen wird durch die räumlich Absetzung ein Übersprechen des über den Lichtleiter 260 herangeführten Referenzlichts auf die aktiven Lichtlaufzeitpixel 24 verhindert, zum anderen können über die maskierten Pixel 25 auch Dunkelmessungen als weitere Referenz durchgeführt werden.

Selbstverständlich sind auch Anordnungen denkbar, in denen auf maskierte Pixel 25 verzichtet wird und die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 räumlich versetzt von dem Pixelarray der Lichtlaufzeitpixel 24 angeordnet sind.

Auch ist es denkbar, zusätzlich oder alternativ zu den oben genannten Überlegungen, die Messergebnisse der Lichtlaufzeitpixel 24, die durch den Lichteintrag an den Referenzlichtlaufzeitpixel 26 beeinträchtigt werden, zu verwerfen. In einer solchen Anordnung kann ggf. auch eine räumliche Beabstandung der Referenzpixel und einer Maskierung der Zwischenpixel verzichtet werden.

In 2 ist eine Aufsicht auf einen Lichtlaufzeitsensor 22 gemäß 1 gezeigt mit einer zusätzlichen Referenzpixelspalte. Über einen Lichtleiter 260 wird ein Teil des von der Beleuchtungslichtquelle 12 emittierten Lichts auf die Referenzpixel 26 gelenkt. Je nach Anwendung und Bedarf können ggf. auch weitere Spalten mit Referenzlichtlaufzeitpixel 26 vorgesehen sein.

Das Auskoppeln der optischen Signale der Beleuchtungslichtquelle 12 erlaubt es, über die Referenzlaufzeitpixeln 26 eine Referenz für die Distanzmessung bereitzustellen. Ausgehend von Signalen der Referenzlichtlaufzeitpixel 26 können Referenzwerte ermittelt werden, anhand derer beispielsweise systembedingte, die Distanzmessung beeinflussende Effekte, kompensiert werden können. Insbesondere können Effekte bei der Umwandlung elektrischer in optische Signale berücksichtigt und kompensiert werden, wie beispielsweise ein sich änderndes Ansprechverhalten der elektrooptischen Wandler durch Temperatur- und Alterungseffekte. Besonders vorteilhaft werden die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 vorzugsweise mit denselben Modulationssignalen und Integrationszeiten betrieben, wie die übrigen Lichtlaufzeitpixel 24.

Ferner kann es zur Vermeidung einer Sättigung der Referenzlichtlaufzeitpixel 26 vorgesehen sein, die Lichteinkopplung bzw. -auskopplung in den Lichtleiter 260 derart zu beeinflussen, dass die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 in einem optimalen Bereich arbeiten.

Mit dem erfindungsgemäßen Auskoppelelement ist es nun vorgesehen, die Referenzlichtlaufzeitpixel 26 mit unterschiedlichen Lichtintensitäten zu beaufschlagen, so dass beispielsweise unabhängig von den am Sensor 22 verwendeten Integrationszeiten, mindestens ein Referenzlichtlaufzeitpixel 26 in einem bevorzugten Arbeitsbereich arbeitet.

In 3 ist exemplarisch eine mögliche Anordnung mit einem erfindungsgemäßen Auskoppelelement 200 gezeigt. Auf einem Bauelementeträger 500 sind mehrere Bauelemente 510 und ein Lichtlaufzeitsensor 22 mit einem Lichtlaufzeitpixelbereich 24 und einem Referenzlichtlaufzeitpixelbereich 26 angeordnet. Zum mechanischen Schutz des Lichtlaufzeitsensors 22 ist zudem ein Abdeckglas 310 vorgesehen, das im eingebauten Zustand auf einen Rahmen 300 oberhalb des Sensors 22 angebracht ist. Der Rahmen weist an einer Seite eine Vertiefung zur Aufnahme des Auskoppelements 200 auf. Der einzubringende Lichtleiter 260 ist übersichtshalber nicht gezeigt.

In 4 ist die Anordnung gemäß 3 im montierten Zustand im Querschnitt entlang der Linie X-X‘ gezeigt. Der Sensor 22 befindet sich innerhalb des Rahmens 300 und wird von dem oberhalb des Rahmens 300 angebrachten Abdeckglas 310 geschützt. Das Auskoppelelement 200 ist zwischen Rahmen 300 und dem Abdeckglas 310 innerhalb der Vertiefung des Rahmens 300 angeordnet. Das Auskoppelelement 300 weist vorzugsweise eine zur Vertiefung des Rahmens 300 korrespondierende Nut auf, wobei Vertiefung und Nut so aufeinander abgestimmt sind, dass das Auskoppelelement 200 lateral fixiert ist. Eine vertikale Fixierung wird über den Anpressdruck des aufliegenden Abdeckglases 310 erreicht.

Rahmen 300 und Abdeckglas 310 sind vorzugsweise miteinander verklebt, jedoch sind auch Klemmverbindungen denkbar. Der Rahmen wiederum ist mit dem hier nicht gezeigten Bauelementeträger 500 verbunden, beispielsweise durch Kleben, Schrauben, Klemmen, Löten etc.

Eine weitere erfindungsgemäße Ausgestaltung kann die Verwendung eines noch nicht vollständig ausgehärteten Silikons darstellen, dass über Zeit seinen Anpressdruck verliert, um die Klebestellen zwischen Rahmen 300 und Bauteilträger 500 und zwischen Rahmen 300 und Glas 310 zu entlasten. Ein weiterer Vorteil wäre die verbesserte Anschmiegeeigenschaften des Silikons.

Der Lichtleiter 260 wird von oben über eine Ausnehmung des Abdeckglas 310 und einer Ausnehmung des Auskoppelements 200 in einen seitlichen Bereich eines Auskopplungsbereiches 220 des Auskoppelelements 200 heranführt. Das Auskoppelelement 200 ist im Auskopplungsbereich 220 lichtdurchlässig und so ausgebildet, dass das über den Lichtleiter 260 herangeführte Licht in den Auskopplungsbereich 220 eindringen und über dessen Unterseite den Referenzlichtlaufzeitpixeln 26 zugeführt werden kann. Die übrigen Außenflächen sind lichtundurchlässig ausgebildet.

Die Randbereiche der Unterseite des Auskopplungsbereichs 220 sind so ausgestaltet, dass sie im Wesentlichen lichtdicht auf den Sensor aufliegen.

Ist der Auskopplungsbereich 220 als transparentes Vollmaterial ausgebildet, ist die Anordnung so dimensioniert, dass die Unterseite des Auskopplungsbereichs 220 flächig auf den Referenzlichtlaufzeitpixeln 26 aufliegt.

Bevorzugt ist das Auskoppelelement 200 zumindest im Auskopplungsbereich 220 aus einem elastischen Material, beispielsweise Silikon oder einem anderen elastischen und transparenten Material und/oder hohl gefertigt. Aufgrund der Elastizität schmiegt sich die Austrittsfläche besonderes eng an die Oberfläche der Sensors 22 an. Die Anordnung ist bevorzugt so ausgestaltet, dass sich zwischen Austrittsfläche und den Referenzlichtlaufzeitpixel 26 keine Lufteinschlüsse befinden und/oder herausgedrängt werden. Bei einem hohl ausgeführten Auskopplungsbereich 220 schmiegen sich die Randbereiche gleichermaßen an die Sensoroberfläche an. Bevorzugt können hier für das Auskoppelelement 200 und insbesondere den Auskopplungsbereich 220 Materialen eingesetzt werden, die eine Shore-Härte zwischen A40 und A70 und bevorzugt zwischen A45 und A65 aufweisen. Die lichtundurchlässigen Bereiche können hierbei beispielsweise einen Rußanteil von 2–8 Gew. % bevorzugt 4–7 Gew. % und insbesondere bevorzugt von 5 Gew. % aufweisen.

Die Bereiche des Auskoppelelements, die kein Licht führen sollen sind vorzugsweise lichtundurchlässig und/oder lichtabsorbierend ausgearbeitet. Auch kann es vorgesehen sein, dass zusätzlich oder auch alternativ die Oberflächen des Auskoppelelements 200 an denen kein Licht austreten soll mit einem lichtundurchlässigen Material beschichtet sind.

Zur Beleuchtung der Referenzlichtlaufzeitpixel 26 mit unterschiedlichen Lichtintensitäten ist es erfindungsgemäß vorgesehen, den Auskopplungsbereich 220 so auszugestalten, dass die Lichtintensität über die Längserstreckung des Auskopplungsbereichs 220 abnimmt. Beispielsweise kann der Auskopplungsbereich mit lichtstreuenden und/oder lichtabsorbierenden Partikeln gefüllt werden. Zur Erreichung oder Verstärkung eines Intensitätsgradienten kann ggf. der Partikelfüllgrad, bzw. Partikelmenge und/oder -größe verändert werden. Auch ein Einfärben mit anderen Materialen ist denkbar. Der Intensitätsgradient ist vorzugsweise so gewählt, dass der Dynamikumfang der wählbaren Integrationszeiten abgedeckt ist.

Im Ausführungsbeispiel gemäß 4 ist der Auskopplungsbereich nicht als Vollmaterial, sondern als Hohlraum ausgebildet. Die Innenflächen des Hohlraums sind vorzugsweise mit einem lichtabsorbieren Material beschichtet. Alternativ oder zusätzlich können die Innenflächen auch eine lichtabsorbierende Struktur aufweisen. Auch durch dieses Vorgehen wird Gradient in der Lichtintensität über die Längserstreckung des Auskopplungsbereichs 220 realisiert.

Um ein Übersprechen des Referenzlichts in den aktiven Pixelbereich 24 zu vermeiden, ist es erfindungsgemäß wie in 5 dargestellt vorgesehen, das Licht nur innerhalb vorgegebener Raumrichtungen in den Referenzpixelbereich 26 einzustrahlen und den Einfallswinkel des Lichts hinsichtlich einer lateralen Achse des Lichtlaufzeitsensors 22 geeignet auszurichten. Im dargestellten Fall erstrecken sich die Achsen x und y lateral und die z-Achse senkrecht zur Oberfläche des Sensors 22, wobei der Einfallswinkel α erfindungsgemäß im Hinblick auf eine bevorzugte Raumrichtung kontrolliert eingestellt wird. Erfindungsgemäß ist es vorgesehen den Einfallswinkel α in Bezug auf eine Achse kontrolliert einzustellen, die quer zur Erstreckung der Referenzpixelzeile liegt. Dies ist im vorliegenden Fall die y-Achse. Der Einfallswinkel αy bezeichnet den auf die y-z-Ebene projizierten Einfallswinkel zur der z Achse hin gemessen. Der der Übersicht halber nicht eingezeichnete Einfallswinkel αx bezeichnet den auf die x-z-Ebene projizierten Einfallswinkel zur der z Achse hin gemessen.

In 6 sind die Koordinatenachsen gemäß 5 in Relation zu den Pixelbereichen 24, 26, 28 auf dem Lichtlaufzeitsensor 22 gezeigt. Die laterale x-Achse des Koordinatensystems ist hierbei parallel zu einer Längserstreckung der Referenzpixelzeile 26 und die laterale y-Achse senkrecht bzw. quer zur x-Achse ausgerichtet. Die laterale y-Achse zeigt in Richtung der Metallisierung 28 und den aktiven Pixel 24.

Erfindungsgemäß ist es nun vorgesehen, den Lichteinfall α des Referenzlichts über den Lichtleiter 260 so auszurichten, dass der in y-Richtung orientierte Einfallswinkel αy einen Grenzwinkel von 30° nicht überschreitet. Die Ausrichtung des Lichtleiters 260 im Hinblick auf die x-Achse ist hierbei unkritisch und kann auch Einfallswinkel αx > 30° einnehmen.

7 zeigt eine entsprechende Ausgestaltung, bei der der Lichtleiter 260 in den Auskopplungsbereich 220 geführt und erfindungsgemäß ausgerichtet ist. Der Lichtleiter 260 ist im Auskopplungsbereich 220 derart orientiert bzw. angeordnet, dass das an einer Austrittsfläche 286 des Lichtleiters 260 austretende Licht mit einem Einfallswinkel αy ≤ 30° auf den Lichtlaufzeitsensor 22 bzw. den Referenzpixeln 26 auftritt.

Dieses Vorgehen hat den besonderen Vorteil, dass aufgrund des steilen Einfallswinkels α eine Lichtunterwanderung der Pixelmaskierung 28 vermieden werden kann.

Besonders vorteilhaft kann das erfindungsgemäße Auskoppelelement 200 für einen Lichtlaufzeitsensor 22 mit Mikrolinsen 29, wie in 8 dargestellt, eingesetzt werden.

Mikrolinsen 29 werde typischerweise als einer der letzten Prozesse in einer Empfangschipherstellung, beispielsweise CMOS- oder CCD-Herstellung aufgebracht, so dass die dargestellte Pixelmaskierung 28 unterhalb des Mikrolinsenarrays liegt. Bei einem streifenden Lichteinfall im Auskopplungsbereich 220 besteht nun die Gefahr, dass Licht aus dem Auskopplungsbereich 220 in den aktiven Pixelbereich 24 gelangt. Dies kann zuverlässig vermieden werden, wenn das Licht in den oben genannten Grenzen im Wesentlichen senkrecht bzw. mit einem Einfallswinkel αy ≤ 30° auf den Lichtlaufzeitsensor 22 auftritt, da hierdurch die Lichtleitung sowohl in der Mikrolinsenschicht als auch in der Maskierungsschicht ineffizient wird.

Bezugszeichenliste

12
Beleuchtungslichtquelle
22
Lichtlaufzeitsensor
24
Lichtlaufzeitpixel, aktive Lichtlaufzeitpixel
25
maskierte Pixel
26
Referenzlichtlaufzeitpixel, Referenzpixelzeile
28
Maskierung
29
Mikrolinsen
200
Auskoppelelement
220
Auskoppelungsbereich
260
Lichtleiter
268
Lichtaustrittsbereich
300
Rahmen
310
Abdeckglas
320
Lichtfalle
500
Bauelementeträger
510
Bauelement

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG

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Zitierte Patentliteratur

  • DE 19704496 A1 [0002]