Title:
Verfahren und Vorrichtung zur Messung einer Schichtdicke eines Objekts
Document Type and Number:
Kind Code:
B4

Abstract:
Verfahren zur Messung einer Schichtdicke (d) eines Objekts (1), umfassend die folgenden Schritte:- Bereitstellen eines Objekts (1), welches zwei um eine Schichtdicke (d) beabstandete Grenzflächen (2, 3) aufweist,- Durchführen mindestens zweier Messschritte (M), wobei jeweils-- elektromagnetische Strahlung (4) mit Frequenzen (f) in einem dem jeweiligen Messschritt (M) zugeordneten Frequenzband (F) von jeweils einem von mehreren Sendern (S) auf das Objekt (1) eingestrahlt wird, wobei die Frequenzbänder (F) der einzelnen Messschritte (M) unterschiedliche Teilbereiche einer Bandbreite B sind, und-- von den Grenzflächen (2, 3) des Objekts (1) ausgehende Sekundärstrahlung (7, 8) detektiert und ein Messsignal (A; |A|) ermittelt wird,- Zusammenführen der Messsignale (A; |A|) der Messschritte (M) gemäß der jeweiligen Frequenzbänder (F) zu einem Auswertesignal (A; |A|), und- Bestimmung einer Grundfrequenz (ω) des Auswertesignals (Ao; |Ao|) zur Errechnung der Schichtdicke (d).




Inventors:
LITTAU BENJAMIN (DE)
SCHOBER GIOVANNI (DE)
KREMLING STEFAN (DE)
Application Number:
DE102017207648A
Publication Date:
08/22/2019
Filing Date:
05/05/2017
Assignee:
SKZ-KFE gGmbH
International Classes:
G01B11/06; G01S13/88; G01S17/88
Foreign References:
201502682182015-09-24
Attorney, Agent or Firm:
RAU, SCHNECK & HÜBNER Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB (Nürnberg, DE)