Title:
Sensorvorrichtung und Verfahren zum Erfassen von Substanzen in einem Fluid
Document Type and Number:
Kind Code:
A1

Abstract:

Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung (100) zum Erfassen von Substanzen in einem Fluid. Die Sensorvorrichtung (100) weist ein Funktionselement (120) zum Kondensieren und/oder Zerstäuben von Fluid auf. Auch weist die Sensorvorrichtung (100) eine Schwingungserzeugungseinrichtung (130) zum Versetzen des Funktionselements (120) in mechanische Schwingungen auf. Die Sensorvorrichtung (100) weist ferner eine Kühleinrichtung (140) zum Kühlen des Funktionselements (120) auf. Zudem weist die Sensorvorrichtung (100) eine Gassensoreinrichtung (150) zum Erfassen von gasförmigen Substanzen in von dem Funktionselement (120) zerstäubtem Fluid auf. Die Sensorvorrichtung (100) weist überdies ein Gehäuse (110) zum Aufnehmen des Funktionselements (120), der Schwingungserzeugungseinrichtung (130), der Kühleinrichtung (140) und der Gassensoreinrichtung (150) auf. In dem Gehäuse (110) ist zumindest eine Durchgangsöffnung (115) für das Fluid ausgeformt. embedded image





Inventors:
Buck, Thomas (71732, Tamm, DE)
Hoffmann, Jochen (71272, Renningen, DE)
Application Number:
DE102017202918A
Publication Date:
08/23/2018
Filing Date:
02/23/2017
Assignee:
Robert Bosch GmbH, 70469 (DE)
International Classes:
G01N33/00; B05B17/06
Domestic Patent References:
DE69226085T2N/A
Foreign References:
20150177216
6126311
Claims:
Sensorvorrichtung (100) zum Erfassen von Substanzen in einem Fluid, wobei die Sensorvorrichtung (100) zumindest folgende Merkmale aufweist:
ein Funktionselement (120) zum Kondensieren und/oder Zerstäuben von Fluid;
eine Schwingungserzeugungseinrichtung (130) zum Versetzen des Funktionselements (120) in mechanische Schwingungen;
eine Kühleinrichtung (140) zum Kühlen des Funktionselements (120);
eine Gassensoreinrichtung (150) zum Erfassen von gasförmigen Substanzen in von dem Funktionselement (120) zerstäubtem Fluid; und
ein Gehäuse (110) zum Aufnehmen des Funktionselements (120), der Schwingungserzeugungseinrichtung (130), der Kühleinrichtung (140) und der Gassensoreinrichtung (150), wobei in dem Gehäuse (110) zumindest eine Durchgangsöffnung (115) für das Fluid ausgeformt ist.

Sensorvorrichtung (100) gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Funktionselement (120) als ein Balken oder als eine Membran ausgeformt ist.

Sensorvorrichtung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Funktionselement (120) in dem Gehäuse (110) einseitig eingespannt anordenbar oder angeordnet ist.

Sensorvorrichtung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Gehäuse (110) eine erste Kammer (411) und eine zweite Kammer (412) aufweist, wobei die erste Kammer (411) und die zweite Kammer (412) durch eine Verbindungsöffnung (414) miteinander verbunden sind, wobei das Funktionselement (120), die Schwingungserzeugungseinrichtung (130) und die Kühleinrichtung (140) in der ersten Kammer (411) anordenbar oder angeordnet sind, wobei die Gassensoreinrichtung (150) in der zweiten Kammer (412) anordenbar oder angeordnet ist.

Sensorvorrichtung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, gekennzeichnet durch ein Kapillarelement (670), wobei das Kapillarelement (670) durch einen Kapillarzwischenraum (675) von dem Funktionselement (120) beabstandet anordenbar oder angeordnet ist, wobei der Kapillarzwischenraum (675) angrenzend an die zumindest eine Durchgangsöffnung (115) angeordnet ist.

Sensorvorrichtung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Gehäuse (110) zwei Durchgangsöffnungen (115) für einen Durchfluss von Fluid durch das Gehäuse (110) ausgeformt sind und/oder eine Druckausgleichsöffnung (680) zum Druckausgleich zwischen dem Gehäuse (110) und einer Umgebung ausgeformt ist.

Sensorvorrichtung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gassensoreinrichtung (150) und die Kühleinrichtung (140) in und/oder an einem gemeinsamen Substrat (560) ausgeformt sind.

Sensorvorrichtung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Funktionselement (120), die Schwingungserzeugungseinrichtung (130) und die Kühleinrichtung (140) als ein Stapel anordenbar oder angeordnet sind.

Verfahren (800) zum Erfassen von Substanzen in einem Fluid, wobei das Verfahren in Verbindung mit einer Sensorvorrichtung (100) gemäß einem der vorangegangenen Ansprüche ausführbar ist, wobei das Verfahren (800) zumindest folgende Schritte aufweist:
Ansteuern (810) der Kühleinrichtung (140), um das Funktionselement (120) zum Kondensieren von Fluid an dem Funktionselement zu kühlen;
Anregen (820) der Schwingungserzeugungseinrichtung (130), um das Funktionselement (120) zum Zerstäuben von kondensiertem Fluid in mechanische Schwingungen zu versetzen; und
Betreiben (830) der Gassensoreinrichtung, um gasförmige Substanzen in von dem Funktionselement (120) zerstäubtem Fluid zu erfassen.

Verfahren (800) gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass im Schritt (820) des Anregens die Schwingungserzeugungseinrichtung (130) angeregt wird, um in einer ersten Betriebsart zur quantitativen Erfassung das Funktionselement (120) in mechanische Schwingungen mit einer ersten Amplitude und/oder mit einer ersten Frequenz zu versetzen und in einer zweiten Betriebsart zur qualitativen Erfassung das Funktionselement (120) in mechanische Schwingungen mit einer zweiten Amplitude und/oder mit einer zweiten Frequenz zu versetzen, wobei die erste Amplitude kleiner als die zweite Amplitude ist, wobei die erste Frequenz und die zweite Frequenz gleich oder unterschiedlich sind.

Verfahren (800) gemäß einem der Ansprüche 9 bis 10, gekennzeichnet durch einen Schritt (840) des Förderns eines Fluidstroms in das Gehäuse (110) der Sensorvorrichtung (100) und/oder durch das Gehäuse (110) der Sensorvorrichtung (100) hindurch.

Steuergerät, das eingerichtet ist, um Schritte des Verfahrens (800) gemäß einem der Ansprüche 9 bis 11 in entsprechenden Einheiten auszuführen.

Computerprogramm, das dazu eingerichtet ist, das Verfahren (800) gemäß einem der Ansprüche 9 bis 11 auszuführen.

Maschinenlesbares Speichermedium, auf dem das Computerprogramm nach Anspruch 13 gespeichert ist.

Description:
Stand der Technik

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung oder einem Verfahren nach Gattung der unabhängigen Ansprüche. Gegenstand der vorliegenden Erfindung ist auch ein Computerprogramm.

Für eine Identifikation organischer und/oder anorganischer Verbindungen aus einer Gasphase kann beispielsweise ein definiertes Gasvolumen zunächst in die flüssige Phase überführt und über einen definierten Zeitraum akkumuliert werden, um das Kondensat dann wieder in die Gasphase zu überführen und gezielt auf eine sensierende Oberfläche zu leiten. Herkömmliche Systeme können zusätzlich zu dem eigentlichen Gassensorelement insbesondere Kühleinheiten (z. B. Peltierelemente), mikrofluidische Kanalsysteme (zum gezielten Leiten des Gases), vergrößerte Oberflächen wie z. B. poröse Materialien (um dem vorbei strömenden Gas eine möglichst große Wechselwirkungsoberfläche zu bieten), Heizer (um das Kondensat wieder in die Gasphase zu überführen) aufweisen. Um in Gasen enthaltene Flüssigkeit zu extrahieren, können auch Molekularsiebe, Superadsorber oder chemische Verbindungen wie zum Beispiel Hyaluronsäure verwendet werden.

Offenbarung der Erfindung

Vor diesem Hintergrund werden mit dem hier vorgestellten Ansatz eine Sensorvorrichtung, ein Verfahren, weiterhin ein Steuergerät, das dieses Verfahren verwendet, sowie schließlich ein entsprechendes Computerprogramm gemäß den Hauptansprüchen vorgestellt. Durch die in den abhängigen Ansprüchen aufgeführten Maßnahmen sind vorteilhafte Weiterbildungen und Verbesserungen der im unabhängigen Anspruch angegebenen Vorrichtung möglich.

Gemäß Ausführungsformen kann insbesondere eine integrierte Detektion chemischer Verbindungen bzw. Substanzen mittels einer Sensorvorrichtung realisiert werden, die beispielsweise einen Chip mit einem insbesondere piezoelektrisch aktuierbaren Funktionselement aufweist, dessen Temperatur durch ein Kühlelement, z. B. einem Peltier-Element, abgesenkt werden kann. Wenn ein Fluid an einem derartigen Funktionselement vorbeiströmt, kann beispielsweise ein Niederschlag von in einer Gasphase enthaltener Flüssigkeit auf dem Funktionselement induziert werden. Insbesondere durch eine elektrisch induzierte, hochfrequente Schwingung kann anschließend mechanische Energie erzeugt werden, um die kondensierte Flüssigkeit wieder in die Gasphase zu überführen. Das Funktionselement und eine Gassensoroberfläche können hierbei so angeordnet sein, dass gasförmige Substanzen erfasst werden können.

Vorteilhafterweise kann gemäß Ausführungsformen insbesondere eine Sensorvorrichtung mit umfangreicher Funktionalität und auf kleinstem Raum in einem Sensorgehäuse integriert bereitgestellt werden. Weiterhin kann diese Sensorvorrichtung beispielsweise die Möglichkeit bieten, mittels einer geeigneten Auswerteelektronik eine Masse eines Kondensats an dem Funktionselement zu bestimmen. Bei einer Erfassung von hitzelabilen Substanzen bzw. Zielelementen, wie z. B. Proteinen, Humanzellen, Exosomen oder Hormonen, kann anstelle einer thermischen Verdampfung, die zu einer Schädigung von solchen biologischen Substanzen führen könnte, eine Überführung eines Kondensates in die Gasphase bei Raumtemperatur erreicht werden, wodurch eine Schädigung hitzelabiler Substanzen vermieden werden kann. Für eine Überführung eines Kondensats in die Gasphase wird hierbei insbesondere kein Heizelement benötigt. Insbesondere durch eine piezoelektrische Vernebelung oder Zerstäubung kann Energie eingespart werden, was einen im Hinblick auf einen Einsatz in portablen Geräten energiesparenden Betrieb ermöglicht. Beispielsweise können hohe piezoelektrische Verdampfungsraten bzw. Zerstäubungsraten und damit verbundene Geschwindigkeiten bzw. Durchsätze von bis zu 10 Milliliter pro Minute ermöglicht werden. Anders ausgedrückt kann eine Analyse eines großen Gasvolumens bzw. großer Gasvolumina ermöglicht werden. Es können auch Flüssigkeiten analysiert werden. Somit kann ein Einsatzbereich der Sensorvorrichtung weiter vergrößert sein. Ferner kann vermieden werden, dass zwischen einem Kühlen eines Bereichs für die Kondensatbildung und einem Heizen des gleichen Bereiches für das Überführen des Kondensats in die Gasphase umzuschalten ist.

Es wird eine Sensorvorrichtung zum Erfassen von Substanzen in einem Fluid vorgestellt, wobei die Sensorvorrichtung zumindest folgende Merkmale aufweist:

  • ein Funktionselement zum Kondensieren und/oder Zerstäuben von Fluid;
  • eine Schwingungserzeugungseinrichtung zum Versetzen des Funktionselements in mechanische Schwingungen;
  • eine Kühleinrichtung zum Kühlen des Funktionselements;
  • eine Gassensoreinrichtung zum Erfassen von gasförmigen Substanzen in von dem Funktionselement zerstäubtem Fluid; und
  • ein Gehäuse zum Aufnehmen des Funktionselements, der Schwingungserzeugungseinrichtung, der Kühleinrichtung und der Gassensoreinrichtung, wobei in dem Gehäuse zumindest eine Durchgangsöffnung für das Fluid ausgeformt ist.

Bei den Substanzen in dem Fluid kann es sich um zumindest einen Stoff, zumindest ein Molekül, zumindest eine chemische Verbindung oder zumindest ein chemisches Element handeln. Die Gassensorvorrichtung kann als ein Sensor-Chip oder dergleichen ausgeführt sein. Die Kühleinrichtung kann ausgebildet sein, um das Funktionselement auf eine Taupunkttemperatur zumindest einer zu erfassenden Substanz zu kühlen.

Gemäß einer Ausführungsform kann das Funktionselement als ein Balken oder als eine Membran ausgeformt sein. Insbesondere kann das Funktionselement als eine perforierte Membran ausgeformt sein. Wenn als Funktionselement eine perforierte Membran eingesetzt wird, kann eine Kondensatbildung auf nur einer Seite der Membran erzwungen werden. Wird die Membran nun in mechanische Schwingungen bzw. in Resonanz versetzt, können die generierten Tropfen auf die andere Seite der Membran beschleunigt werden. Dies ermöglicht einen zielgerichteten Transfer auf eine Gassensoroberfläche der Gassensoreinrichtung und kann eine Phasenumwandlung wirksamer machen, was in einer erhöhten Sensitivität der Gassensoreinrichtung resultieren kann.

Auch kann das Funktionselement in dem Gehäuse einseitig eingespannt anordenbar oder angeordnet sein. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass das Funktionselement effizient und exakt in mechanische Schwingungen versetzt werden kann.

Ferner kann das Gehäuse eine erste Kammer und eine zweite Kammer aufweisen. Hierbei können die erste Kammer und die zweite Kammer durch eine Verbindungsöffnung miteinander verbunden sein. Dabei können das Funktionselement, die Schwingungserzeugungseinrichtung und die Kühleinrichtung in der ersten Kammer anordenbar oder angeordnet sein. Die Gassensoreinrichtung kann in der zweiten Kammer anordenbar oder angeordnet sein. Anders ausgedrückt kann zwischen der ersten Kammer der zweiten Kammer eine Trennwand in dem Gehäuse angeordnet sein. Auf diese Weise kann erreicht werden, dass die zerstäubten Mikrotröpfchen nicht sofort auf eine Sensoroberfläche der Gassensoreinrichtung auftreffen, sondern erst eine gewisse Strecke zurücklegen müssen, in welcher ein Phasenübergang von flüssig zu gasförmig beschleunigt stattfinden kann, bevor sie auf die Sensoroberfläche auftreffen, sodass mehr Bestandteile in die Gasphase übergehen und eine Sensitivität des Sensors verbessert werden kann.

Zudem kann die Sensorvorrichtung ein Kapillarelement aufweisen. Das Kapillarelement kann durch einen Kapillarzwischenraum von dem Funktionselement beabstandet anordenbar oder angeordnet sein. Dabei kann der Kapillarzwischenraum angrenzend an die zumindest eine Durchgangsöffnung angeordnet sein. Somit kann eine Flüssigkeit durch Kapillarwirkung von der Durchgangsöffnung in den Kapillarzwischenraum gelangen. Somit können mittels der Sensorvorrichtung auch Flüssigkeiten genau und zuverlässig sowie energiesparend analysiert werden.

Gemäß einer Ausführungsform können in dem Gehäuse zwei Durchgangsöffnungen für einen Durchfluss von Fluid durch das Gehäuse ausgeformt sein. Zusätzlich oder alternativ kann eine Druckausgleichsöffnung zum Druckausgleich zwischen dem Gehäuse und einer Umgebung ausgeformt sein. Es kann ein kontinuierliches und energiesparendes sensieren von Gas oder einer Flüssigkeit ermöglicht werden.

Auch können die Gassensoreinrichtung und die Kühleinrichtung in einem gemeinsamen Substrat und zusätzlich oder alternativ an einem gemeinsamen Substrat ausgeformt sein. Das gemeinsame Substrat kann als ein Chipsubstrat ausgeführt sein. Ferner kann das gemeinsame Substrat eine elektrische Schaltung, insbesondere eine integrierte Schaltung, beispielsweise eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung aufweisen. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, platzsparend, einfach herstellbar sowie kostengünstig zu sein.

Insbesondere können das Funktionselement, die Schwingungserzeugungseinrichtung und die Kühleinrichtung als ein Stapel anordenbar oder angeordnet sein. Auf diese Weise kann das Funktionselement wirksam sowie auf platzsparende Weise gekühlt und in mechanische Schwingungen versetzt werden.

Es wird auch ein Verfahren zum Erfassen von Substanzen in einem Fluid vorgestellt, wobei das Verfahren in Verbindung mit einer Ausführungsform einer hier beschriebenen Sensorvorrichtung ausführbar ist, wobei das Verfahren zumindest folgende Schritte aufweist:

  • Ansteuern der Kühleinrichtung, um das Funktionselement zum Kondensieren von Fluid an dem Funktionselement zu kühlen;
  • Anregen der Schwingungserzeugungseinrichtung, um das Funktionselement zum Zerstäuben von kondensiertem Fluid in mechanische Schwingungen zu versetzen; und
  • Betreiben der Gassensoreinrichtung, um gasförmige Substanzen in von dem Funktionselement zerstäubtem Fluid zu erfassen.

Dieses Verfahren kann beispielsweise in Software oder Hardware oder in einer Mischform aus Software und Hardware beispielsweise in einem Steuergerät implementiert sein. Das Verfahren kann unter Verwendung einer Ausführungsform der vorstehend genannten Sensorvorrichtung ausgeführt werden. Im Schritt des Ansteuerns kann ein Ansteuersignal an die Kühleinrichtung angelegt werden. Im Schritt des Anregens kann ein Anregungssignal an die Schwingungserzeugungseinrichtung angelegt werden. Im Schritt des Betreibens kann ein Sensorsignal von der Gassensoreinrichtung empfangen oder eingelesen werden.

Gemäß einer Ausführungsform kann im Schritt des Anregens die Schwingungserzeugungseinrichtung angeregt werden, um in einer ersten Betriebsart zur quantitativen Erfassung das Funktionselement in mechanische Schwingungen mit einer ersten Amplitude und zusätzlich oder alternativ mit einer ersten Frequenz zu versetzen und in einer zweiten Betriebsart zur qualitativen Erfassung das Funktionselement in mechanische Schwingungen mit einer zweiten Amplitude und zusätzlich oder alternativ mit einer zweiten Frequenz zu versetzen. Hierbei kann die erste Amplitude kleiner als die zweite Amplitude sein. Die erste Frequenz und die zweite Frequenz können gleich oder unterschiedlich sein. In der ersten Betriebsart kann somit eine Massenbestimmung des Kondensats an dem Funktionselement ermöglicht werden, wobei ohne konstruktiven Mehraufwand kontinuierlich eine Massenanlagerung an die Kondensatfalle des Sensors gemessen werden kann. Somit können die vom Gassensor erfassten Werte quantitativer erfasst werden, da eine Verbindung zwischen dem analysiertem Luftvolumen und der darin enthaltene Feuchtigkeit hergestellt werden kann.

Auch kann das Verfahren einen Schritt des Förderns eines Fluidstroms in das Gehäuse der Sensorvorrichtung und zusätzlich oder alternativ durch das Gehäuse der Sensorvorrichtung hindurch aufweisen. Eine solche Ausführungsform bietet den Vorteil, dass eine Genauigkeit einer quantitativen Erfassung weiter gesteigert werden kann, da ein definierter Volumenstrom von Fluid zugeführt werden kann.

Der hier vorgestellte Ansatz schafft ferner ein Steuergerät, das ausgebildet ist, um die Schritte einer Variante eines hier vorgestellten Verfahrens in entsprechenden Einrichtungen durchzuführen, anzusteuern bzw. umzusetzen. Auch durch diese Ausführungsvariante der Erfindung in Form eines Steuergeräts kann die der Erfindung zugrunde liegende Aufgabe schnell und effizient gelöst werden.

Hierzu kann das Steuergerät zumindest eine Recheneinheit zum Verarbeiten von Signalen oder Daten, zumindest eine Speichereinheit zum Speichern von Signalen oder Daten, zumindest eine Schnittstelle zu einem Sensor oder einem Aktor zum Einlesen von Sensorsignalen von dem Sensor oder zum Ausgeben von Steuersignalen an den Aktor und/oder zumindest eine Kommunikationsschnittstelle zum Einlesen oder Ausgeben von Daten aufweisen, die in ein Kommunikationsprotokoll eingebettet sind. Die Recheneinheit kann beispielsweise ein Signalprozessor, ein Mikrocontroller oder dergleichen sein, wobei die Speichereinheit ein Flash-Speicher, ein EEPROM oder eine magnetische Speichereinheit sein kann. Die Kommunikationsschnittstelle kann ausgebildet sein, um Daten drahtlos und/oder leitungsgebunden einzulesen oder auszugeben, wobei eine Kommunikationsschnittstelle, die leitungsgebundene Daten einlesen oder ausgeben kann, diese Daten beispielsweise elektrisch oder optisch aus einer entsprechenden Datenübertragungsleitung einlesen oder in eine entsprechende Datenübertragungsleitung ausgeben kann.

Unter einem Steuergerät kann vorliegend ein elektrisches Gerät verstanden werden, das Sensorsignale verarbeitet und in Abhängigkeit davon Steuer- und/oder Datensignale ausgibt. Das Steuergerät kann eine Schnittstelle aufweisen, die hard- und/oder softwaremäßig ausgebildet sein kann. Bei einer hardwaremäßigen Ausbildung können die Schnittstellen beispielsweise Teil eines sogenannten System-ASICs sein, der verschiedenste Funktionen des Steuergeräts beinhaltet. Es ist jedoch auch möglich, dass die Schnittstellen eigene, integrierte Schaltkreise sind oder zumindest teilweise aus diskreten Bauelementen bestehen. Bei einer softwaremäßigen Ausbildung können die Schnittstellen Softwaremodule sein, die beispielsweise auf einem Mikrocontroller neben anderen Softwaremodulen vorhanden sind.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung erfolgt durch das Steuergerät eine Steuerung einer Sensorvorrichtung für Fluid, insbesondere eine Steuerung einer Schwingungserzeugungseinrichtung und einer Kühleinrichtung der Sensorvorrichtung. Hierbei können piezoelektrische Elemente und auch Peltier-Elemente angesteuert werden. Ferner kann das Steuergerät beispielsweise auf Sensorsignale von der Gassensoreinrichtung zugreifen.

Von Vorteil ist auch ein Computerprogrammprodukt oder Computerprogramm mit Programmcode, der auf einem maschinenlesbaren Träger oder Speichermedium wie einem Halbleiterspeicher, einem Festplattenspeicher oder einem optischen Speicher gespeichert sein kann und zur Durchführung, Umsetzung und/oder Ansteuerung der Schritte des Verfahrens nach einer der vorstehend beschriebenen Ausführungsformen verwendet wird, insbesondere wenn das Programmprodukt oder Programm auf einem Computer oder einer Vorrichtung ausgeführt wird.

Ausführungsbeispiele des hier vorgestellten Ansatzes sind in den Zeichnungen dargestellt und in der nachfolgenden Beschreibung näher erläutert. Es zeigt:

  • 1 eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 2 eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 3 eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 4 eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 5 eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 6 eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel;
  • 7 eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung gemäß einem Ausführungsbeispiel; und
  • 8 ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens zum Erfassen gemäß einem Ausführungsbeispiel.

In der nachfolgenden Beschreibung günstiger Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung werden für die in den verschiedenen Figuren dargestellten und ähnlich wirkenden Elemente gleiche oder ähnliche Bezugszeichen verwendet, wobei auf eine wiederholte Beschreibung dieser Elemente verzichtet wird.

1 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Sensorvorrichtung 100 ist ausgebildet, um Substanzen in einem Fluid zu erfassen. Das Fluid kann zumindest eine Flüssigkeit, zumindest ein Gas oder ein Gas-Flüssigkeit-Gemisch aufweisen. Die zu erfassenden Substanzen können mindestens eine chemische Verbindung, mindestens ein chemisches Element und/oder mindestens ein Molekül repräsentieren.

Die Sensorvorrichtung 100 weist ein Gehäuse 110 auf. In dem Gehäuse 110 ist gemäß dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel beispielhaft lediglich eine Durchgangsöffnung 115 für das Fluid ausgeformt. Im Bereich der Durchgangsöffnung 115 ist somit das Gehäuse 110 durchlässig für das Fluid. In dem Gehäuse 110 sind ein Funktionselement 120, eine Schwingungserzeugungseinrichtung 130, eine Kühleinrichtung 140 und eine Gassensoreinrichtung 150 mit einer Gassensoroberfläche 155 aufgenommen bzw. angeordnet.

Gemäß dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel sind das Funktionselement 120, die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 und die Kühleinrichtung 140 als ein Stapel angeordnet bzw. aufeinander gestapelt. Hierbei ist die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 zwischen dem Funktionselement 120 und der Kühleinrichtung 140 angeordnet. Die Gassensoreinrichtung 150 ist von dem Stapel beabstandet angeordnet. Dabei ist die Gassensoroberfläche 155 dem Funktionselement 120 bzw. einem Teilabschnitt des Funktionselements 120 zugewandt.

Das Funktionselement 120 ist zum Kondensieren und/oder Zerstäuben von Fluid vorgesehen. Gemäß dem in 1 dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Funktionselement 120 als ein Balken ausgeformt. Genau gesagt ist hierbei das Funktionselement 120 als ein einseitig eingespannter Balken ausgeformt bzw. einseitig eingespannt in dem Gehäuse 110 angeordnet. Hierbei ist ein erster Teilabschnitt des Funktionselements 120 an der Schwingungserzeugungseinrichtung 130 angebracht, wobei ein zweiter Teilabschnitt des Funktionselements 120 auskragend ist. Der zweite Teilabschnitt des Funktionselements 120 erstreckt sich über die Gassensoreinrichtung 150 hinweg. Eine Hauptoberfläche des zweiten Teilabschnitts des Funktionselements 120 ist der Gassensoroberfläche 155 der Gassensoreinrichtung 150 zugewandt.

Die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 ist ausgebildet, um das Funktionselement 120 in mechanische Schwingungen zu versetzen. Dabei ist die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 beispielsweise als ein Ultraschallgenerator, ein piezoelektrisches Element oder dergleichen ausgeführt.

Die Kühleinrichtung 140 ist ausgebildet, um das Funktionselement 120 zu kühlen. Dabei ist die Kühleinrichtung 140 insbesondere ausgebildet, um das Funktionselement 120 auf eine Taupunkttemperatur einer zu erfassenden Substanz in dem Fluid zu kühlen. Die Kühleinrichtung 140 ist beispielsweise als ein Peltier-Element oder dergleichen ausgeführt.

Die Gassensoreinrichtung 150 ist ausgebildet, um gasförmige bzw. wieder in die Gasphase überführte Substanzen in an dem Funktionselement 120 kondensiertem und von dem Funktionselement 120 zerstäubtem Fluid zu erfassen. Dabei ist die Gassensoreinrichtung 150 beispielsweise als ein Gassensorchip mit der Gassensoroberfläche 155 ausgeführt.

Anders ausgedrückt zeigt 1 einen schematischen Querschnitt durch die Sensorvorrichtung 100. Das Funktionselement 120 in Gestalt eines Balkens ist kraftschlüssig mit der als Ultraschallgenerator bzw. piezoelektrisches Element ausgeführten Schwingungserzeugungseinrichtung 130 verbunden. Die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 steht mit einer als Kältegenerator bzw. insbesondere als Peltier-Element ausgeführten Kühleinrichtung 140 in einer thermisch bzw. thermische Energie leitenden Konfiguration bzw. Verbindung. Das Funktionselement 120 ist in unmittelbarer Nähe zu der Gassensoroberfläche 155 der als Gassensorchip ausgeführten Gassensoreinrichtung 150 positioniert. Die vorstehend genannten Elemente sind in dem Gehäuse 110 platziert, das in Gestalt der Durchgangsöffnung 115 eine gasdurchlässige Kontaktstelle zu einem Außenbereich des Gehäuses 110 aufweist.

Um mit einer solchen Sensorvorrichtung 100 in Betrieb Gase zu sensieren, wird die Temperatur des Funktionselements 120 unter Verwendung der Kühleinrichtung 140 mindestens unter den Taupunkt eines zu sensierenden Gases bzw. einer zu erfassenden Substanz abgesenkt. Ein Gasstrom bzw. Fluidstrom kann dem Funktionselement 120 dabei entweder aktiv oder passiv zugeführt werden. Gelöste oder tröpfchenförmige Bestandteile des Gases bzw. Fluids kondensieren an dem gekühlten Funktionselement 120 ab und bilden dort eine wässrige Phase L bzw. ein Kondensat. Die sich an das Funktionselement 120 anlagernden Massen können kontinuierlich durch Messung einer mechanischen Resonanzfrequenz erfasst werden. Dabei ist zu beachten, dass eine Amplitude der Schwingung bei der Messung so eingestellt wird, dass eine unbeabsichtigte Zerstäubung bzw. Vernebelung vermieden wird. Ist beispielsweise eine vordefinierte Masse an wässriger Phase L vorhanden, werden über Wasserstoffbrückenbindungen zusammengehaltene Wassermoleküle durch Einprägen einer großen Bewegung des Funktionselements 120 aus ihrem Molekülverbund gerissen und somit in die Gasphase überführt (Zerstäubung bzw. Vernebelung). Die Arbeitsfrequenz beim Vernebeln braucht nicht der Messfrequenz bei der Massenbestimmung zu entsprechen. Es kann vorteilhaft sein, beim Vernebeln eine höhere Schwingungsmode anzuregen. Gemäß dem in 1 gezeigten Ausführungsbeispiel sind das Funktionselement 120 und die Gassensoroberfläche 155 einander direkt gegenüberliegend angeordnet.

2 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Hierbei entspricht die Sensorvorrichtung 100 der Sensorvorrichtung aus 1 mit Ausnahme dessen, dass in dem Gehäuse 110 zwei Durchgangsöffnungen 115 für einen Durchfluss von Fluid durch das Gehäuse 110 ausgeformt sind.

Somit weist das Gehäuse 110 mit den Durchgangsöffnungen 115 mindestens zwei gasdurchlässige Kontaktstellen zum Außenbereich des Gehäuses 110 auf. Dies hat den Vorteil, dass definierte Gasvolumina unter Verwendung eines Gasfördersystems, z. B. einer Mikropumpe, durch das Gehäuse 110 und insbesondere über das Funktionselement 120 geleitet werden können. Dies kann eine Aussagekraft von Messungen erhöhen, da ein Zusammenhang zwischen analysiertem Gasvolumen und Messsignalen hergestellt werden kann.

3 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Sensorvorrichtung 100 ähnelt oder entspricht der Sensorvorrichtung aus einer der vorstehend beschriebenen Figuren. Dabei entspricht die Sensorvorrichtung 100 der Sensorvorrichtung aus 2 mit Ausnahme dessen, dass das Funktionselement 120 als eine Membran ausgeformt ist. Gemäß dem in 3 dargestellten Ausführungsbeispiel ist die Membran perforiert.

Das als Membran ausgeführte Funktionselement 120 hat in Kombination mit der Durchflusskonfiguration aus 2 den Vorteil, dass die Kondensatbildung bzw. Anlagerung der flüssigen Phase L beispielsweise auf nur einer Seite der Membran erzwungen werden kann. Wird das Funktionselement 120 nun in Resonanz versetzt, werden die generierten Tropfen auf die andere Seite des Funktionselements 120 beschleunigt. Dies ermöglicht einen zielgerichteten Transfer auf die Gassensoroberfläche 155 und reduziert Verluste bei der Phasenumwandlung, was in einer erhöhten Sensitivität der Sensorvorrichtung 100 resultiert.

4 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Sensorvorrichtung 100 ähnelt oder entspricht der Sensorvorrichtung aus einer der vorstehend beschriebenen Figuren. Genauer gesagt entspricht die Sensorvorrichtung 100 der Sensorvorrichtung aus 3 mit Ausnahme dessen, dass lediglich eine Durchgangsöffnung 115 in dem Gehäuse 110 ausgeformt ist und das Gehäuse 110 eine erste Kammer 411 und eine zweite Kammer 412 aufweist.

Die erste Kammer 411 und die zweite Kammer 412 sind durch eine Trennwand 413 partiell voneinander getrennt und über eine Verbindungsöffnung 414 bzw. einen Verbindungsspalt 414 miteinander verbunden. Der Verbindungsspalt 414 erstreckt sich zwischen der Trennwand 413 und einer Wand des Gehäuses 110. Das Funktionselement 120, die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 und die Kühleinrichtung 140 sind in der ersten Kammer 411 angeordnet. Die Gassensoreinrichtung 150 ist in der zweiten Kammer 412 angeordnet. Somit ist die Trennwand 413 zwischen der Gassensoreinrichtung 150 und dem Stapel aus Funktionselement 120, Schwingungserzeugungseinrichtung 130 und Kühleinrichtung 140 angeordnet.

Beide Kammern 411 und 412 bzw. beide Kompartimente sind durch eine den Gasaustausch begünstigende bzw. ermöglichende Öffnung in Gestalt des Verbindungsspalts 414 verbunden. Dieses Ausführungsbeispiel hat den Vorteil, dass die mittels der Schwingungserzeugungseinrichtung 130 generierten Mikrotröpfchen nicht sofort auf die Sensoroberfläche 155 auftreffen, sondern erst eine gewisse Strecke zurücklegen, in welcher der Phasenübergang von flüssig zu gasförmig aufgrund eines vergrößerten Oberflächen-zu-Volumen-Verhältnisses beschleunigt stattfinden kann, bevor sie auf die Sensoroberfläche 155 auftreffen. Dadurch gehen insbesondere mehr Bestandteile in die Gasphase über, was in einer verbesserten Sensitivität der Sensorvorrichtung 100 resultiert.

5 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Sensorvorrichtung 100 ähnelt oder entspricht der Sensorvorrichtung aus einer der vorstehend beschriebenen Figuren. Dabei entspricht die Sensorvorrichtung 100 der Sensorvorrichtung aus 3 mit Ausnahme dessen, dass in dem Gehäuse 110 lediglich eine Durchgangsöffnung 115 ausgeformt ist und die Gassensoreinrichtung und die Kühleinrichtung 140 in bzw. an einem gemeinsamen Substrat 560 bzw. Chipsubstrat 560 ausgeformt bzw. aufgebaut sind.

Anders ausgedrückt sind der Gassensorchip bzw. die Gassensoreinrichtung und die Kühleinrichtung 140 monolithisch auf dem Chipsubstrat 560 aufgebaut. In dem Chipsubstrat 560 kann zusätzlich noch eine anwendungsspezifische integrierte Schaltung (ASIC = Application-Specific Integrated Circuit) für die Datenverarbeitung ausgeformt bzw. angeordnet sein. Dies hat den Vorteil einer kleineren Gesamtbaugröße, was im Hinblick auf den Einsatz in portablen Geräten vorteilhaft ist. Zusätzlich vereinfacht sich eine Aufbau- und Verbindungstechnik durch weniger Prozessschritte, was wiederum Gesamtkosten der Sensorvorrichtung 100 reduziert.

6 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Sensorvorrichtung 100 ähnelt oder entspricht der Sensorvorrichtung aus einer der vorstehend beschriebenen Figuren. Dabei entspricht die Sensorvorrichtung 100 der Sensorvorrichtung aus 3 mit Ausnahme dessen, dass das Gehäuse 110 lediglich eine Durchgangsöffnung 115 aufweist, die Sensorvorrichtung 100 ein Kapillarelement 670 aufweist, dass durch einen Kapillarzwischenraum 675 bzw. kapillaren Spalt 675 von dem Funktionselement 120 beabstandet angeordnet ist, und in dem Gehäuse 110 eine Druckausgleichsöffnung 680 zum Druckausgleich zwischen dem Gehäuse 110 und einer Umgebung ausgeformt ist. Dabei ist der Kapillarzwischenraum 675 angrenzend an die Durchgangsöffnung 115 angeordnet.

Hierbei gelangt das fluide in Gestalt einer zu analysierenden Flüssigkeit über die Durchgangsöffnung 115 in Kontakt mit dem kapillaren Spalt 675, wodurch die Flüssigkeit in das Gehäuse 110 bzw. Sensorgehäuse transportiert wird. Der kapillare Spalt 675 ist durch eine dem als Membran ausgeführten Funktionselement 120 gegenüberliegende Schicht als Kapillarelement 670 in Zusammenwirkung mit dem Funktionselement 120 realisiert. Wird das Funktionselement 120 in Schwingung versetzt, werden die erzeugten Tröpfchen gerichtet in Richtung der Sensoroberfläche 155 beschleunigt und in die Gasphase übergegangene Stoffe können von der Sensoroberfläche 155 erfasst werden. Gemäß diesem Ausführungsbeispiel weist das Gehäuse 110 eine zusätzliche Öffnung als Druckausgleichsöffnung 680 auf, um einen Druckausgleich zwischen Innengehäuse bzw. Gehäuseinnenraum und der Umgebung herzustellen, wodurch die erfassten Gase und generierte Luftfeuchtigkeit wieder aus dem Gehäuse 110 herausgeführt werden können.

7 zeigt eine schematische Schnittdarstellung einer Sensorvorrichtung 100 gemäß einem Ausführungsbeispiel. Die Sensorvorrichtung 100 ähnelt oder entspricht der Sensorvorrichtung aus einer der vorstehend beschriebenen Figuren. Dabei entspricht die Sensorvorrichtung 100 der Sensorvorrichtung aus 3 mit Ausnahme dessen, dass das als Membran ausgeformte Funktionselement 120 mehr als einseitig eingespannt ist und einen Bereich der zwei Durchgangsöffnungen 115 von einem die Gassensoreinrichtung 150 aufweisenden Innenraum des Gehäuses 110 abtrennt, und dass in dem Gehäuse 110 eine Druckausgleichsöffnung 680 zum Druckausgleich zwischen dem Gehäuse 110 und einer Umgebung ausgeformt ist. Hierbei erstreckt sich das Funktionselement 120 zwischen den Durchgangsöffnungen 115 auf einer Seite und der Druckausgleichsöffnung 680 sowie der Gassensoreinrichtung 150 auf der anderen Seite.

Anders ausgedrückt weist das Gehäuse 110 die beiden Durchgangsöffnungen 115 als Einlass und Auslass auf, um Flüssigkeiten in definierten Durchflussraten über das als Membran ausgeführte Funktionselement 120 zu leiten. Wird das Fusionselement 120 in Schwingung versetzt, werden dem Flüssigkeitsstrom kontinuierlich Teilvolumina entnommen und der Gassensoroberfläche 155 zugeführt. Dies hat den Vorteil, dass Flüssigkeiten kontinuierlich analysiert und/oder überwacht werden können.

8 zeigt ein Ablaufdiagramm eines Verfahrens 800 zum Erfassen gemäß einem Ausführungsbeispiel. Das Verfahren 800 zum Erfassen ist ausführbar, um Substanzen in einem Fluid zu erfassen. Dabei ist das Verfahren 800 zum Erfassen unter Verwendung von bzw. in Verbindung mit der Sensorvorrichtung aus einer der vorstehend genannten Figuren oder einer ähnlichen Sensorvorrichtung ausführbar.

In einem Schritt 810 des Ansteuerns wird bei dem Verfahren 800 zum Erfassen die Kühleinrichtung der Sensorvorrichtung angesteuert, um das Funktionselement zum Kondensieren von Fluid an dem Funktionselement zu kühlen. Hierbei wird beispielsweise ein Ansteuersignal verwendet. Das Funktionselement wird insbesondere auf eine Taupunkttemperatur zumindest einer Substanz in dem Fluid gekühlt. Nachfolgend wird in einem Schritt 820 des Anregens die Schwingungserzeugungseinrichtung der Sensorvorrichtung angeregt, um das Funktionselement in mechanische Schwingungen zu versetzen, um kondensiertes Fluid zu zerstäuben. Dabei wird beispielsweise ein Anregungssignal verwendet. Nachfolgend wird in einem Schritt 830 des Betreibens die Gassensoreinrichtung betrieben bzw. ein Betrieb derselben gesteuert, um gasförmige Substanzen in von dem Funktionselement zerstäubtem Fluid zu erfassen. Hierbei wird insbesondere ein Sensorsignal von der Gassensoreinrichtung empfangen, eingelesen und/oder ausgewertet.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel weist das Verfahren 800 zum Erfassen auch einen Schritt 840 des Förderns eines Fluidstroms in das Gehäuse der Sensorvorrichtung und/oder durch das Gehäuse der Sensorvorrichtung hindurch auf. Dabei ist der Schritt 840 des Förderns kontinuierlich ausführbar. Anders ausgedrückt sind der Schritt 810 des Ansteuerns, der Schritt 820 des Anregens und der Schritt 830 des Betreibens während einer Ausführung des Schrittes 840 des Förderns ausführbar.

Gemäß einem Ausführungsbeispiel wird im Schritt 820 des Anregens die Schwingungserzeugungseinrichtung angeregt, um in einer ersten Betriebsart zur quantitativen Erfassung das Funktionselement in mechanische Schwingungen mit einer ersten Amplitude und/oder mit einer ersten Frequenz zu versetzen und in einer zweiten Betriebsart zur qualitativen Erfassung das Funktionselement in mechanische Schwingungen mit einer zweiten Amplitude und/oder mit einer zweiten Frequenz zu versetzen. Die erste Amplitude ist dabei kleiner als die zweite Amplitude. Die erste Frequenz und die zweite Frequenz sind gleich oder unterschiedlich.

Unter Bezugnahme auf die vorstehend beschriebenen Figuren werden nachfolgend exemplarische und spezifische Einzelheiten und/oder Parameter von Ausführungsbeispielen näher erläutert.

Die Kühleinrichtung 140 ist beispielsweise als ein Peltier-Element ausgeführt. Peltier-Elemente sind insbesondere auch in kleinen Abmessungen verfügbar. Für einen Einbau in das Gehäuse 110 kann ein solches Element beispielsweise eine Standfläche kleiner oder gleich 3 mal 3 Quadratmillimeter aufweisen. Optional kann eine Passivierung vorgesehen sein, um das Peltier-Element bzw. die Kühleinrichtung 140 vor Umwelteinflüssen, insbesondere Feuchtigkeit, zu schützen. Durch eine solche Passivierung kann auch verhindert werden, dass Materialien des Peltier-Elements, wie beispielsweise Wismut, Tellur und dergleichen, sich durch Ausdiffundieren auf die Sensorfunktion auswirken können. Als Passivierung können organische Materialien, z. B. Parylene, oder anorganische Materialien, wie beispielsweise Aluminiumoxid, Siliziumoxid etc., verwendet werden.

Für die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 bzw. den Ultraschallgenerator können beispielsweise Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers (cMUTs, pMUTs), piezoelektrische Folien (PVDF = Polyvinylidenfluorid), piezoelektrisch Kristalle, wie z. B. Blei-Zirkonat-Titanat (PZT), Quarz, Lithiumniobat, Galliumorthophosphat, Ferroelektrika, oder SAW-Systeme (SAW = Surface Acoustic Wave, akustische Oberflächenwelle; typischerweise basierend auf Aluminiumnitrid (AIN)). Es kann vorteilhaft sein, das piezoelektrische Element bzw. die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 ebenfalls durch eine Passivierungsschicht vor Umwelteinflüssen und einem Ausdiffundieren zu schützen.

In einem besonders günstigen Ausführungsbeispiel kann eine Länge des Balkens bzw. Funktionselementes 120 1mm betragen, wobei 0,7mm davon freigestellt sind. Die Breite des Funktionselementes 120 kann beispielsweise 0,5mm und die Dicke des Funktionselementes 12020 µm betragen. Sollten Löcher in dem Funktionselement 120 vorgesehen sein, kann deren Durchmesser gemäß einem Ausführungsbeispiel 20 µm und/oder deren Abstand zueinander beispielsweise 100 µm betragen, wobei die Löcher beispielsweise matrixförmig angeordnet sind. Die Piezo-Schicht bzw. Schwingungserzeugungseinrichtung 130 ist beispielsweise 5 µm dick, wobei der Sockel (der auf dem Peltier-Element sitzen würde) bzw. die Kühleinrichtung 140 beispielsweise 0,3 mm hoch und 0,3 mm breit sein können.

Das Funktionselement 120 kann beispielsweise aus Stahl, Stahl mit vergüteter Oberfläche, z. B. Silber, Gold, Nickel oder ein anderes Metall, das korrosionsfrei und ggf. lötbar ist, etc. ausgeformt sein. Die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 kann beispielsweise aus Blei-Zirkonat-Titanat ausgeformt sein. Ein Substrat kann beispielsweise aus Silizium oder Stahl ausgeformt sein oder direkt Teil der Kühleinrichtung 140 bzw. eines Peltier-Kühl-/Heizelements sein.

Damit ergibt sich eine Resonanzfrequenz der mechanischen Schwingungen des Funktionselements von beispielsweise ca. 37 kHz, also außerhalb des akustisch hörbaren Bereichs. Ein nächstfolgender Modus der Resonanzschwingung würde bei 207 kHz liegen. Zum Messen der angelagerten Masse über die Frequenzverschiebung können beide hier genannten Modi verwendet werden, wobei der erste Modus eine höhere Empfindlichkeit zeigen wird.

Aufgebaut wird die Schwingungserzeugungseinrichtung 130 insbesondere durch Aufkleben oder Auflöten eines dünnen Stahlblechs auf einen Rahmen bzw. Sockel. Eine Piezo-Schicht kann optional vorher auflaminiert und/oder aufgelötet werden. Das Funktionselement 120 sowie Löcher werden beispielsweise durch Laser strukturiert, insbesondere im Vorfeld.

Umfasst ein Ausführungsbeispiel eine „und/oder“-Verknüpfung zwischen einem ersten Merkmal und einem zweiten Merkmal, so ist dies so zu lesen, dass das Ausführungsbeispiel gemäß einer Ausführungsform sowohl das erste Merkmal als auch das zweite Merkmal und gemäß einer weiteren Ausführungsform entweder nur das erste Merkmal oder nur das zweite Merkmal aufweist.