Title:
Lidar-Sensor zur Erfassung eines Objektes
Kind Code:
A1


Abstract:

Lidar-Sensor zur Erfassung eines Objektes in der Umgebung, sowie ein Verfahren zur Ansteuerung des Lidar-Sensors, wobei der Lidar-Sensor eine Lichtquelle (101) zur Emission elektromagnetischer Strahlung, einen Ablenkspiegel (104) zum Ablenken der emittierten elektromagnetischen Strahlung (105) um wenigstens einen Winkel (109) in die Umgebung, einen optischen Empfänger (102) zum Empfangen elektromagnetischer Strahlung (106), die vom Objekt reflektiert wurde, und einen Spiegel (103) zum Umlenken der empfangenen elektromagnetischen Strahlung (106) auf den optischen Empfänger (102) aufweist. Hierbei weist der Spiegel (103) ein Loch (107) auf, bei das Loch (107) auf einer Hauptstrahlachse (108) der Lichtquelle (101) angeordnet ist. Der Kern der Erfindung besteht darin, dass der Ablenkspiegel (104) als mikromechanischer Ablenkspiegel ausgebildet ist. embedded image




Inventors:
Bogatscher, Siegwart (74372, Sersheim, DE)
Sparbert, Jan (71277, Rutesheim, DE)
Schnitzer, Reiner (72762, Reutlingen, DE)
Application Number:
DE102017202634A
Publication Date:
08/23/2018
Filing Date:
02/20/2017
Assignee:
Robert Bosch GmbH, 70469 (DE)
International Classes:
Domestic Patent References:
DE112011101667T5N/A2013-05-16
DE19752888A1N/A1999-06-10



Claims:
Lidar-Sensor zur Erfassung eines Objektes in der Umgebung mit wenigstens
• einer Lichtquelle (101) zur Emission elektromagnetischer Strahlung,
• einem Ablenkspiegel (104) zum Ablenken der emittierten elektromagnetischen Strahlung (105) um wenigstens einen Winkel (109) in die Umgebung,
• einem optischen Empfänger (102) zum Empfangen elektromagnetischer Strahlung (106), die vom Objekt reflektiert wurde, und
• einem Spiegel (103) zum Umlenken der empfangenen elektromagnetischen Strahlung (106) auf den optischen Empfänger (102), wobei der Spiegel (103) ein Loch (107) aufweist, und wobei
• das Loch (107) auf einer Hauptabstrahlachse (108) der Lichtquelle (101) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Ablenkspiegel (104) als mikromechanischer Ablenkspiegel ausgebildet ist.

Lidar-Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet dass, die von der Lichtquelle (101) entlang der Hauptstrahlachse (108) emittierte elektromagnetische Strahlung (105) vom Ablenkspiegel (104) um den wenigstens einen Winkel (109) als abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung (105-1) in die Umgebung abgelenkt wird, wobei der wenigstens eine Winkel abhängig von der Ausrichtung des Ablenkspiegels ist.

Lidar-Sensor nach Anspruch 1 oder 2, weiterhin aufweisend
• ein Feld (202) mikro-optischer Elemente (203-1, 203-2); wobei
• der Ablenkspiegel (104) und das Feld (202) derart angeordnet sind, dass der wenigstens eine Winkel (109) genau einem mikro-optischen Element (203-1, 203-2) zugeordent ist.

Lidar-Sensor nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend
• ein Licht-bündelndes Element (204) angeordnet in einem Abstand (y) zu dem Feld (202) mikro-optischer Elemente (203-1, 203-2); wobei
• jedes der mikro-optischen Elemente (203-1, 203-2), wenn es von der abgelenkten emittierten elektromagnetischen Strahlung (105-1) getroffen wird, diese abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung (105-1) zu einem divergenten Strahl (205) aufweitet; und wobei
• das Licht-bündelnde Element (204) den divergenten Strahl (205) in einenTaststrahl (206) umformt.

Lidar-Sensor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die mikro-optischen Elemente (203-1, 203-2) Mikrolinsen oder reflektierende Elemente oder Licht-beugende Elemente sind.

Lidar-Sensor nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Licht-bündelnde Element (204) zugleich ein Objektiv des optischen Empfängers (102) bildet.

Lidar-Sensor nach einem der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass auf der optischen Achse des Licht-bündelnden Elements (204) eine Spiegeleinheit (201) angeordnet ist, die die abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung (105-1) auf das Feld (202) mikro-optischer Elemente (203-1, 203-2) umlenkt.

Lidar-Sensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Spiegeleinheit (201) gewölbt ausgebildet ist.

Lidar-Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass der optische Empfänger (102) zwei oder mehr Detektorelemente aufweist, wobei die zwei oder mehr Detektorelemente zeilenförmig oder als Matrix angeordnet sind.

Verfahren zur Ansteuerung eines Lidar-Sensors zur Erfassung eines Objektes in der Umgebung mit den Schritten:
• Ansteuerung einer Lichtquelle (101) zur Emission elektromagentischer Strahlung (105) durch ein Loch (107) eines Spiegels (103);
• Ansteuerung eines Ablenkspiegels (104) zur Ablenkung der emittierten elektromagnetischen Strahlung (105) um wenigstens einen Winkel (109) in die Umgebung; und
• Empfangen elektromagnetischer Strahlung (106), die vom Objekt reflektiert wurde, mittels eines optischen Empfängers (102); dadurch gekennzeichnet, dass der Ablenkspiegel (104) als mikromechanischer Ablenkspiegel ausgebildet ist.

Verfahren zur Ansteuerung eines Lidar-Sensors nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet dass, die Ansteuerung des Ablenkspiegels (104) derart geschieht, dass die um den wenigstens einen Winkel (109) abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung (105) genau ein mikro-optisches Element (203-1, 203-2) eines Feldes (202) trifft.

Description:

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Lidar-Sensor und ein Verfahren zur Ansteuerung eines Lidar-Sensors gemäß dem Oberbegriff der unabhängig formulierten Ansprüche.

Stand der Technik

Aus dem Stand der Technik sind verschiedene Sensoreinrichtungen bekannt, die es ermöglichen, Objekte innerhalb eines Abtastraumes in der Umgebung beispielsweise eines Fahrzeugs zu erfassen. Hierzu gehören Lidar-Sensoren (LIDAR, Light Detection And Ranging), mit denen die Umgebung des Fahrzeugs abgetastet wird. Die von einem Lidar-Sensor emittierte elektromagnetische Strahlung wird von Objekten in der Umgebung reflektiert bzw. zurückgestreut und von einem optischen Empfänger des Lidar-Sensors empfangen. Anhand dieser empfangenen Strahlung können die Position und die Entfernung von Objekten in der Umgebung bestimmt werden.

Aus der DE102008055159 A1 ist eine Vorrichtung zur Aufnahme der Geometrie der Umgebung der Vorrichtung in einem Detektionsfeld mittels Laserabtastung mit einem durch einen schwingenden mikromechanischen Spiegel gelenkten Laserstrahl bekannt. Hierbei ist das Detektionsfeld in vertikaler und in horizontaler Richtung durch eine Anpassung der Schwingungsamplitude und/oder Schwingungsfrequenz des mikromechanischen Spiegels vorgebbar.

Um Lidar-Sensoren platzsparend in oder an bestimmten Bereichen eines Fahrzeugs anzubringen, wären Lidar-Sensoren von Vorteil, die ein geringeres Bauvolumen bzw. eine geringere Bauhöhe als bisher bekannte Lösungen aufweisen. Weiterhin ist ein Bedarf an mechanisch robusten Lidar-Sensoren insbesondere für die Verwendung in Fahrzeugen vorhanden.

Offenbarung der Erfindung

Die vorliegende Erfindung geht aus von einem Lidar-Sensor zur Erfassung eines Objektes in der Umgebung mit wenigstens einer Lichtquelle zur Emission elektromagnetischer Strahlung, einem Ablenkspiegel zum Ablenken der emittierten elektromagnetischen Strahlung um wenigstens einen Winkel in die Umgebung, einem optischen Empfänger zum Empfangen elektromagnetischer Strahlung die vom Objekt reflektiert wurde, und einem Spiegel zum Umlenken der empfangenen elektromagnetischen Strahlung auf den optischen Empfänger. Der Spiegel weist ein Loch auf, wobei das Loch auf einer Hauptstrahlachse der Lichtquelle angeordnet ist.

Erfindungsgemäß ist der Ablenkspiegel als mikromechanischer Ablenkspiegel ausgebildet.

Der Ablenkspiegel kann als oszillierender mikromechanischer Ablenkspiegel ausgebildet sein. Der Ablenkspiegel kann auch als statischer mikromechanischer Ablenkspiegel ausgebildet.

Im Strahlengang der emittierten elektromagnetischen Strahlung kann der Spiegel zwischen der Lichtquelle und dem Ablenkspiegel angeordnet sein. Im Strahlengang der empfangenen elektromagnetischen Strahlung kann der Spiegel zwischen dem Ablenkspiegel und dem optischen Empfänger angeordnet sein.

Der Ablenkspiegel kann entlang einer Achse oszillierend bewegt werden. Der Ablenkspiegel kann auch entlang einer Achse statisch bewegt werden. Es handelt sich in diesen Fällen um einem eindimensionalen Ablenkspiegel. Der Ablenkspiegel kann alternativ entlang zweier Achsen oszillierend bewegt werden. Der Ablenkspiegel kann alternativ auch entlang zweier Achsen statisch bewegt werden. Es handelt sich in diesen Fällen um einen zweidimensionalen Ablenkspiegel.

Der Vorteil der Erfindung besteht darin, dass ein Lidar-Sensor mit geringem Bauvolumen, insbesondere einer geringen Bauhöhe realisiert werden kann. Sowohl die emittierte elektromagnetische Strahlung, welche auf den Ablenkspiegel trifft, als auch die empfangene elektromagnetische Strahlung, welche auf den Ablenkspiegel trifft, können einen kleinen Strahldurchmesser aufweisen. Hierdurch kann ein kleinbauender Ablenkspiegel mit entsprechend hoher Abtastfrequenz verwendet werden. Es kann ein Lidar-Sensor realisiert werden, welcher ausreichend mechanisch robust ist. Durch den Spiegel mit dem Loch können der Strahlengang der emittierten elektromagnetischen Strahlung und der Strahlengang der empfangenen elektromagnetischen Strahlung koaxial zueinander verlaufen. Optische Verluste im Strahlengang der emittierten und der empfangenen elektromagnetischen Strahlung können weitestgehend vermieden werden. Vor allem die empfangene elektromagnetische Strahlung kann mittels des Spiegels weitestgehend verlustfrei auf den optischen Empfänger umgelenkt werden. Der Lidar-Sensor kann einen optischen Empfänger aufweisen, der ausreichend groß und ausreichend sensitiv ist.

In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die von der Lichtquelle entlang der Hauptstrahlachse emittierte elektromagnetische Strahlung vom Ablenkspiegel um den wenigstens einen Winkel als abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung in die Umgebung abgelenkt wird, wobei der wenigstens eine Winkel abhängig von der Ausrichtung des Ablenkspiegels ist.

In einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der Lidar-Sensor weiterhin ein Feld mikro-optischer Elemente aufweist. Der Ablenkspiegel und das Feld sind derart angeordnet, dass der wenigstens eine Winkel genau einem mikro-optischen Element zugeordnet ist. Es können jedem Element mehrere Winkel verschiedener Beträge zugeordnet sein.

In einer bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung weist der Lidar-Sensor weiterhin ein Licht-bündelndes Element auf, welches in einem Abstand zu dem Feld mikro-optischer Elemente angeordnet ist. Jedes der mikro-optischen Elemente weitet, wenn es von der abgelenkten emittierten elektromagnetischen Strahlung getroffen wird, diese abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung zu einem divergenten Strahl auf. Das Licht-bündelnde Element formt den divergenten Strahl in einen Taststrahl um. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass die Augensicherheit auch bei erhöhter Gesamtleistung der emittierten elektromagnetischen Strahlung gewährleistet werden kann. Der Strahldurchmesser des Taststrahls kann größer als der Pupillendurchmesser des menschlichen Auges sein. Die Empfindlichkeit gegenüber Streupartikeln kann gering gehalten werden.

Die am Ablenkspiegel abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung tastet nicht unmittelbar die Umgebung ab, sondern das Feld mikro-optischer Elemente. Die Richtung, in die der Taststrahl abgestrahlt wird, ist von der Lage des jeweils getroffenen mikro-optischen Elements relativ zur optischen Achse des Licht-bündelnden Elements abhängig. Der Öffnungswinkel des Lidar-Sensors kann deshalb deutlich größer sein als der Winkel, um den die elektromagnetische Strahlung am Ablenkspiegel maximal abgelenkt wird. Auf diese Weise wird eine Abtastung mit weitem Öffnungswinkel ermöglicht.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die mikro-optischen Elemente Mikrolinsen oder reflektierende oder Licht-beugende Elemente sind.

Das bündelnde Element kann eine optische Linse sein, in deren Fokusebene das Feld mikro-optischer Elemente liegt. Hierdurch wird der divergente Strahl in einen Taststrahl umgeformt, bei dem die Strahlen nahezu parallel sind. Alternativ wäre anstelle einer Linse auch ein Hohlspiegel denkbar.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass das Licht-bündelnde Element sogleich ein Objektiv des optischen Empfängers bildet. Hierdurch kann die empfangene elektromagnetische Strahlung mit der emittierten elektromagnetischen Strahlung koaxial sein. Dadurch müssen bei der Auswertung der empfangenen elektromagnetischen Strahlung keine Paradoxenfehler berücksichtigt werden. Mittels des Spiegels, angeordnet im Strahlengang der empfangenen elektromagnetischen Strahlung zwischen dem Ablenkspiegel und dem optischen Empfänger, kann die empfangene elektromagnetische Strahlung auf den optischen Empfänger umgelenkt werden.

In einer weiteren bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass auf der optischen Achse des Licht-bündelnden Elements eine Spiegeleinheit angeordnet ist, die die abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung auf das Feld mikro-optischer Elemente umlenkt. Mittels der Spiegeleinheit kann ebenfalls empfangene elektromagnetische Strahlung auf den Ablenkspiegel umgelenkt werden. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass der Strahlengang des Lidar-Sensors angepasst werden kann.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Spiegeleinheit gewölbt ausgebildet ist. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass Abbildungsfehler ausgeglichen werden können.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass der optische Empfänger zwei oder mehr Detektorelemente aufweist, wobei die zwei oder mehr Detektorelemente zeilenförmig oder als Matrix angeordnet sind. Der Vorteil dieser Ausgestaltung besteht darin, dass anhand der Position und der Leistung der empfangenen elektromagnetischen Strahlung eine Plausibilisierung einer gemessenen Entfernung eines in der Umgebung erfassten Objektes durchgeführt werden kann. Diese Möglichkeit ergibt sich dadurch, dass der Ablenkspiegel eine Verschiebung der empfangenen elektromagnetischen Strahlung entsprechend der Laufzeit der elektromagnetischen Strahlung bewirkt.

Erfindungsgemäß wird außerdem ein Verfahren zur Ansteuerung eines Lidar-Sensors zur Erfassung eines Objektes in der Umgebung beansprucht. Das Verfahren weist folgende Schritte auf: Ansteuerung einer Lichtquelle zur Emission elektromagnetischer Strahlung durch ein Loch eines Spiegels, Ansteuerung eines Ablenkspiegel zur Ablenkung der emittierten elektromagnetischen Strahlung um wenigstens einen Winkel in die Umgebung und Empfangen elektromagnetischer Strahlung, die vom Objekt reflektiert wurde, mittels eines optischen Empfängers. Hierbei ist der Ablenkspiegel als mikromechanischer Ablenkspiegel ausgebildet.

In einer Ausgestaltung der Erfindung ist vorgesehen, dass die Ansteuerung des Ablenkspiegels derart geschieht, dass die um um den wenigstens einen Winkel abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung genau ein mikro-optisches Element eines Feldes trifft.

Figurenliste

Nachfolgend werden zwei Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:

  • 1 eine Skizze eines erfindungsgemäßen Lidar-Sensors;
  • 2 eine Skizze eines Lidar-Sensors gemäß einer weiteren Ausführungsform.

Der in 1 gezeigte Lidar-Sensor weist als Lichtquelle 101 einen Laser auf, der elektromagnetische Strahlung 105 im sichtbaren Bereich des Spektrums oder wahlweise auch im Infrarotbereich emittiert. Der Lidar-Sensor weist weiterhin den Spiegel 103 auf. Der Spiegel 103 weist im Zentrum seiner Spiegelfläche das Loch 107 auf. Der Spiegel 103 ist zwischen der Lichtquelle 101 und dem Ablenkspiegel 104 des Lidar-Sensors angeordnet. Der Spiegel 103 ist so angeordnet, dass das Loch 107 auf der Hauptstrahlachse 108 der Lichtquelle 101 angeordnet ist. Die von der Lichtquelle 101 entlang der Hauptstrahlachse 108 emittierte elektromagnetische Strahlung 105 wird weitestgehend verlustfrei durch das Loch 107 auf den Ablenkspiegel 104 gerichtet.

Der Ablenkspiegel 104 ist ein mikromechanischer Ablenkspiegel. Wie durch den Doppelpfeil angedeutet, wird der Ablenkspiegel 104 entlang einer Achse oszillierend oder statisch bewegt. Es ist weiterhin möglich, dass der Ablenkspiegel 104 um eine zweite Achse, die rechtwinklig zur ersten Achse verläuft, oszillierend oder statisch bewegt wird. Der Ablenkspiegel 104 lenkt die emittierte elektromagnetische Strahlung 105 als abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 in die Umgebung ab. Die Ansteuerung des Ablenkspiegels 104 erfolgt hierbei derart, dass die emittierte elektromagnetische Strahlung 105 bei einer ersten Ausrichtung um wenigstens einen Winkel als abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 in die Umgebung abgelenkt wird. In 1 ist dieser eine Winkel 109 markiert. Bei einer zweiten Ausrichtung des Ablenkspiegels kann die emittierte elektromagnetische Strahlung 105 um wenigstens einen weiteren, vom ersten Winkel verschiedenen, Winkel als abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 in die Umgebung abgelenkt werden.

Trifft die abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 in der Umgebung auf ein Objekt, so wird die elektromagnetische Strahlung von dem Objekt reflektiert und/oder zurück gestreut. Die reflektierte und/oder zurückgestreute elektromagnetische Strahlung 106 wird vom Lidar-Sensor empfangen. Die elektromagnetische Strahlung 106 fällt über den Ablenkspiegel 104 und den bereits oben beschriebenen Spiegel 103 auf den optischen Empfänger 102. Der Spiegel 103 ist entlang des Strahlengangs der empfangenen elektromagnetischen Strahlung zwischen dem Ablenkspiegel 104 und dem optischen Empfänger 102 angeordnet. Der optische Empfänger 102 weist beispielsweise zeilenförmig oder als Matrix angeordnete Detektorelemente auf.

2 zeigt einen Lidar-Sensor gemäß einer weiteren Ausführungsform. Bei diesem Lidar-Sensor wird die von der Lichtquelle 101 entlang der Hauptstrahlachse 108, und weitestgehend verlustfrei durch das Loch 107 auf den Ablenkspiegel 104 des Lidar-Sensors gerichtete, emittierte elektromagnetische Strahlung 105 mittels des Ablenkspiegel 104 als abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 auf ein Feld 202 mikrooptischer Elemente 203 geführt. Als mikrooptische Elemente sind in diesem Beispiel Licht-beugende Elemente 203 vorgesehen. Wahlweise könnten jedoch auch Licht-brechende oder -reflektierende Elemente vorgesehen sein.

Der wenigstens eine Winkel, um den die emittierte elektromagnetische Strahlung 105 als abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 abgelenkt wird, ist genau einem mikro-optischen Elemente 203-1, 203-2 zugeordent. Der in 2 eingezeichnete Winkel 109 ist dem mikro-optischen Elemente 203-1 zugeordnet. Es können jedem Element 203 mehrere Winkel verschiedener Beträge zugeordnet sein. Wird beispielsweise die emittierte elektromagnetische Strahlung 105 vom Ablenkspiegel 104 um einen Winkel abgelenkt, dessen Betrag sich geringfügig vom Betrag des Winkels 109 unterscheidet, so trifft die abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 ebenso auf das mikro-optische Elemente 203-1. Überschreitet die Differenz der Beträge des Winkels 109 und eines weiteren Ablenkwinkels einen vorgegebenen Wert, so trifft die abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 beispielsweise auf das benachbarte mikro-optische Element 203-2.

Dasjenige der Licht-beugenden Elemente 203, das von der abgelenkten elektromagnetischen Strahlung 105-1 getroffen wird, weitet die abgelenkte emittierte elektromagnetische Strahlung 105-1 zu einem divergenten Strahl 205 auf. Der divergente Strahl 205 trifft auf ein Licht-bündelndes Element in Form einer Linse 204. Der Abstand y zwischen dem Feld 202 und der Linse 204 entspricht etwa der Brennweite der Linse 204. Die Linse 204 formt den divergenten Strahl 205 einen annähernd parallelen Taststrahl 206 um. Der Strahldurchmesser des Taststrahls 206 ist größer als der Strahldurchmesser des Strahls der emittierten elektromagnetischen Strahlung 105. Der Strahldurchmesser des Taststrahls 206 ist größer als der Strahldurchmesser des Strahls der abgelenkten emittierten elektromagnetischen Strahlung 105-1.

Die Abstrahlrichtung des Taststrahls 206 ist von der Lage des mikrooptischen Elements 203, in Bezug auf die optische Achse des Licht-bündelnden Elements 204, abhängig, dass gerade von der abgelenkten emittierten elektromagnetischen Strahlung 105-1 getroffen wird. Auf diese Weise bewirkt der Ablenkspiegel 104 mittelbar auch eine Ablenkung des Taststrahls 206. Der Taststrahl 206 überstreicht die Umgebung des Lidar-Sensors. Der Winkelbereich, der von dem Taststrahl 206 überstrichen wird, ist von der Brennweite der Linse 204 abhängig. Er kann deutlich mehr als das zweifache des Winkelbereichs betragen, in dem der Ablenkspiegel 104 bewegt wird.

Zwischen dem Ablenkspiegel 104 und dem Feld 202 ist eine weitere Spiegeleinheit 201 vorgesehen. Die Spiegeleinheit 201 ist in einem Abstand x zum Feld 202 angeordnet. Diese weitere Spiegeleinheit 201 ist zum Ausgleich von Abbildungsfehlern als gewölbter Spiegel ausgebildet. Die Spiegeleinheit 201 lenkt die vom Ablenkspiegel 104 abgelenkte elektromagnetische Strahlung 105 so um, dass sie längs der optischen Achse der Linse 204 auf das Feld 202 fällt.

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG

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Zitierte Patentliteratur

  • DE 102008055159 A1 [0003]