Title:
AKUSTISCHE OBERFLÄCHENWELLENBAUELEMENTE MIT INTERDIGITALWANDLERN UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG
Kind Code:
B4


Abstract:
Akustische Oberflächenwellenbauelemente mit Interdigitalwandlern, bei denen das Metallisierungsschichtsystem der Interdigitalwandler aus mindestens einer Schicht und einer elektrisch leitfähigen Schicht besteht und wobei die Schicht und die elektrisch leitfähige Schicht aus mindestens zwei unterschiedlichen Elementen und/oder Legierungen und/oder Verbindungen bestehen, und wobei zwischen der Schicht und der elektrisch leitfähigen Schicht eine amorphe Schicht als Barriereschicht vorhanden ist, die mindestens aus einem der Elemente oder der Legierung oder Verbindung der Materialien der beiden Schichten gebildet ist, und durch die amorphe Schicht kein stoffschlüssiger Kontakt mindestens im Bereich der Apertur der Interdigitalwandler zwischen der Schicht und der elektrisch leitfähigen Schicht realisiert ist.



Inventors:
MENZEL SIEGFRIED (DE)
ECKERT JÜRGEN (DE)
TURNOW HENNING (DE)
Application Number:
DE102012221408A
Publication Date:
02/20/2020
Filing Date:
11/22/2012
Assignee:
LEIBNIZ INST FUER FESTKOERPER UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E V (Dresden, 01069, DE)
International Classes:
Domestic Patent References:
DE10029594A1N/A2002-01-10
Foreign References:
200400867402004-05-06
200802463682008-10-09
Attorney, Agent or Firm:
RAUSCHENBACH Patentanwälte GbR (Dresden, 01187, DE)