Title:
Gestapelter akustischer Resonator, welcher eine Brücke aufweist
Kind Code:
B4


Abstract:
BAW-Resonator-Struktur (100), aufweisend:ein Substrat (105), welches eine Kavität (106) aufweist;eine erste Elektrode (107), welche über dem Substrat (105) angeordnet ist;eine Planarisierungsschicht (107'), welche angeordnet ist über dem Substrat (105) und angrenzend ist an die erste Elektrode (107), wobei die Planarisierungsschicht (107') die Kavität (106) nicht überlappt;eine erste piezoelektrische Schicht (108), welche über der ersten Elektrode (107) angeordnet ist;eine zweite Elektrode (111), welche über der ersten piezoelektrischen Schicht (108) angeordnet ist;eine zweite piezoelektrische Schicht (112), welche über der zweiten Elektrode (111) angeordnet ist;eine dritte Elektrode (101), welche über der zweiten piezoelektrischen Schicht (112) angeordnet ist; undeine Brücke (110; 104), welche zwischen der ersten Elektrode (107) und der dritten Elektrode (101) angeordnet ist, wobei sich die Brücke (110; 104) erstreckt bis hinter eine Kante der Kavität (106) oder eines akustischen Reflektors.



Inventors:
BURAK DARIUSZ (US)
SHIRAKAWA ALEXANDRE (US)
BADER STEFAN (US)
Application Number:
DE102012205033A
Publication Date:
01/30/2020
Filing Date:
03/28/2012
Assignee:
AVAGO TECH INT SALES PTE LID (Singapore, SG)
International Classes:
Foreign References:
201003276972010-12-30
Attorney, Agent or Firm:
Dilg Haeusler Schindelmann Patentanwaltsgesellschaft mbH (München, 80636, DE)